NightN斐索干涉儀RIF
產(chǎn)品介紹：
NightN開發(fā)了斐索干涉儀RIF和配套軟件。該軟件旨在處理具有額外傾斜度的干涉圖案。
產(chǎn)品規(guī)格：
1. 孔徑：10 至 95 mm（可選高達(dá) 300 mm）
2. 工作頻率：高達(dá) 25 Hz
3. 測(cè)量精度：0.032 μm (P-V)
4. 測(cè)量像差：5 μm（P-V）
5. 光源：二極管激光器
6. 波長(zhǎng)：0.65 μm
7. CCD：FireWire接口相機(jī)
軟件特色：
1. 可處理實(shí)時(shí)圖像或保存為 .bmp 圖像
2. 測(cè)量精度約為λ/400
3. 結(jié)果顯示為 Zernike 多項(xiàng)式系數(shù)、P-V 和 RMS 值，相位分布的 2D 和 3D 表示
為了獲得被測(cè)表面的信息，在 x 方向引入傾斜，并獲得 8 到 60 條干涉條紋處理過(guò)程包括：
1. 獲取干涉圖案圖像（或從 .bmp 文件加載）
2. 確定感興趣的區(qū)域
3. 過(guò)濾數(shù)據(jù)，排除假極值
4. 尋找極值
5 將相位轉(zhuǎn)化為極值坐標(biāo)的表示形式，通過(guò) Zernike 多項(xiàng)式分解、計(jì)算峰-谷誤差，均方根（RMS）和點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)（PSF）
