優(yōu)可測光譜共焦位移傳感器-翹曲量檢測

位移傳感器翹曲度高精度測量

型號： AP-5080

品牌： Atometrics(優(yōu)可測)

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

基準(zhǔn)距離 80mm
測量范圍 11.7mm
直線性 ±2.9μm
分辨率 25nm
光點直徑 14μm
最大角度 ±18°
最小可測厚度 390μm

--- 產(chǎn)品詳情 ---

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