資料介紹
擴散硅系列固態(tài)傳感器是采用MEMS技術(shù)制作的一種新型傳感器,內(nèi)部管芯真正實現(xiàn)了力敏電阻和硅單晶彈性體一體化的結(jié)構(gòu)。具有靈敏度高、線性好、無滯后、反應(yīng)快等優(yōu)點。在設(shè)計中采用梁-膜或膜-島的先進(jìn)結(jié)構(gòu),使芯片本身具有應(yīng)力集中、非線性內(nèi)補償?shù)忍攸c。并且在芯片的邊框上制作零點溫漂的電阻補償網(wǎng)絡(luò),使芯片具有最小的零點溫漂系數(shù)。主要品種有高靈敏度的微壓傳感器、硅基SOI結(jié)構(gòu)高溫低漂移壓力傳感器、微型硅加速傳感器和微量程肌張力傳感器等。其中靈敏度最高的品種其量程只有0.5kpa(5cm水柱),而且正面可承受一百倍量程以上的過壓而不破壞,為目前國內(nèi)最高水平。多年來,上述各類傳感器為許多工廠、醫(yī)療、科研單位廣泛使用,受到好評。
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