資料介紹
微電子機(jī)械系統(tǒng) (Micro Electron-Mechxniaal System-MEMS)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的-i3新興技術(shù)。它涉及到微電子學(xué)、光學(xué)、聲學(xué)、磁管、氣動(dòng)力學(xué)、流體力學(xué)與自動(dòng)控制等多個(gè)學(xué)科。MEMS是涌過半導(dǎo)體微細(xì)加工技術(shù)及微機(jī)械加工技術(shù)在硅等半導(dǎo)體基板上制作的一種微型電子機(jī)械裝置。微機(jī)械可以分為幾個(gè)等級(jí):特征尺寸在Imm一1。二 的為小型機(jī)械,Ipm一Imtn的為微型機(jī)構(gòu),1。一1lxm的為納米機(jī)械。當(dāng)前,MEMS正向多功能化方向發(fā)展,即集微型機(jī)械、微型傳感器、微型執(zhí)行器、信號(hào)處理與控制電路、接口、電源和通信等單元于一體,成為一個(gè)完整的機(jī)械電子系統(tǒng)。
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