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電容式傳感器
電容式傳感器是把被測量轉換為電容量變化的一種傳感器。它具有結構簡單、靈敏度高、動態(tài)響應特性好、適應性強、抗過載能力大及價格低廉等優(yōu)點。因此，可以用來測量壓力、力、位移、振動、液位等參數(shù)。但電容式傳感器的泄漏電阻和非線性等缺點也給它的應用帶來一定的局限。隨著電子技術的不斷發(fā)展，特別是集成電路的廣泛應用，這些缺點也得到了一定的克服，進一步促進了電容式傳感器的廣泛應用。
電容式傳感器的基本原理及性能特點
電容式傳感器的基本工作原理可以用圖3.1.1所示的平板電容器來說明。設兩極板相互覆蓋的有效面積為A（m2），兩極板間的距離為d（m），極板間介質的介電常數(shù)為?（F·m-1），在忽略板極邊緣影響的條件下，平板電容器的電容量C（F）為 C=?A/d （3-1-1）
由式（3-1）可以看出，?，A，d三個參數(shù)都直接影響著電容量C的大小。如果保持其中兩個參數(shù)不變，而使另外一個參數(shù)改變，則電容量就將發(fā)生變化。如果變化的參數(shù)與被測量之間存在一定函數(shù)關系，那被測量的變化就可以直接由電容量的變化反映出來。所以電容式傳感器可以分為三種類型：改變極板面積的變面積式；改變極板距離的變間隙式；改變介電常數(shù)的變介電常數(shù)式。
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