資料介紹
激光位移傳感器以其高精度、高效率、高可靠性等優(yōu)點,應(yīng)用于精密零件的形位和位置公差的檢測中。CCD(電荷耦合器件)是激光位移傳感器的主要部件之一,其性能直接影響到系統(tǒng)的測量結(jié)果。只有符合激光位移傳感器工作要求的CCD驅(qū)動方法才能保證測量結(jié)果準(zhǔn)確。
在驅(qū)動CCD時要解決的兩個主要問題分別是驅(qū)動時序的產(chǎn)生和輸出信號的采集處理。在驅(qū)動時序產(chǎn)生方面,以往的研究大多只以成功驅(qū)動CCD為目的,因此掃描頻率不高,一般采用器件的典型頻率1 MHz或者更低。偶有專門研究討論高速驅(qū)動CCD的方法,但多是在面陣CCD上進(jìn)行驗證。以往的驅(qū)動方法一般只針對一種掃描頻率,而激光位移傳感器要求在不同工作模式下CCD掃描頻率要改變。在輸出信號的采集處理方面,除了信號反相放大和濾波這些常見的處理外,以往一般研究的是如何消除CCD的復(fù)位噪聲和暗電流噪聲。但在激光位移傳感器的應(yīng)用中,實驗結(jié)果表明復(fù)位噪聲和暗電流噪聲對測量的影響并不明顯。以往的研究中CCD受到的光照一般較強,但激光位移傳感器中CCD接收的是漫反射的弱光,當(dāng)掃描頻率較高時輸出信號急劇衰減,如何處理好不同掃描頻率下的CCD信號是巋須解決的問題之一。綜上所述,有必要設(shè)計一種針對在激光位移傳感器中應(yīng)用的線陣CCD驅(qū)動方法。
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