快刀伺服控制器信號完整性設(shè)計研究（基于HYPERLYNX仿真）

　　在具有復雜表面或微結(jié)構(gòu)的光學零件加T領(lǐng)域，快刀伺服系統(tǒng)（FTS）相對于現(xiàn)代的一些加T技術(shù)和方法：比如電子束直寫技術(shù)、激光束直寫技術(shù)以及蝕刻技術(shù)和LICA等，在加丁精度及一致性、加T效率和經(jīng)濟性方面都有一定的優(yōu)勢，已經(jīng)成為研究的熱點。另外FTS輔助金剛石車削技術(shù)也已經(jīng)廣泛應用于多個加T領(lǐng)域。

　　基于上述背景，我們對快刀伺服系統(tǒng)中的關(guān)鍵技術(shù)開展了系列研究T作，包括控制技術(shù)、驅(qū)動技術(shù)、柔性鉸鏈技術(shù)等。其中快刀伺服控制技術(shù)是快刀系統(tǒng)智能算法實現(xiàn)、精度以及頻響保證的關(guān)鍵技術(shù)之一，而作為控制系統(tǒng)的基石，硬件電路性能直接關(guān)系到快刀控制器設(shè)計的成敗。隨著電路T作頻率的提高以及印制電路板密度的增加，信號完整性顯得愈發(fā)重要，已經(jīng)成為高速硬件電路設(shè)計能否成功的關(guān)鍵因素之一。因此對于高速電路占據(jù)很大比重的快刀伺服控制器，對其設(shè)計中的信號完整性問題必須給予足夠關(guān)注。Hyperlynx是典型的SI仿真軟件，對主要PCB類型文件都提供接口，適用于低頻段（GHz以下）的信號完整性和電磁兼容仿真園。文中將基于Hyperlynx軟件對快刀伺服控制系統(tǒng)硬件的信號完整性問題進行探討和分析，為實際丁程設(shè)計提俠理論依據(jù)和指導意見。