資料介紹
微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)和超大規(guī)模集成電路(VLSI)技術(shù)的發(fā)展對(duì)能源的微型化、集成化提出了越來越高的要求。全固態(tài)薄膜鋰電池因其良好的集成兼容性和電化學(xué)性能成為MEMS和VLSI能源微型化、集成化的最佳選擇。簡(jiǎn)單介紹了薄膜鋰電池的構(gòu)造,舉例說明了薄膜鋰電池的工作原理。從陰極膜、固體電解質(zhì)膜、陽極膜三個(gè)方面概述了近年來薄膜鋰電池關(guān)鍵材料的研究進(jìn)展。陰極膜方面LIPON膜的研究為主;陽極膜方面以對(duì)鋰金屬替代物的研究為主,比如錫的氮化物、氧化物以及非晶硅膜,研究多集中在循環(huán)交通的提高。在薄膜鋰電池結(jié)構(gòu)方面,三維結(jié)構(gòu)將是今后研究的一個(gè)重要方向。
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