資料介紹
簡介:采用表面微機械技術制作了一種l 3l0 nm 基于InP / 空氣隙分布布拉格反射鏡的微機械可調(diào)諧Fabry-Perot 光濾波器。該濾波器的通光孔直徑約為70 !m,在l. 4 V 的調(diào)諧電壓下,調(diào)諧范圍達到l5 nm。并采用光學傳輸矩陣方法,分析了斜入射對這種可調(diào)諧光濾波器透射譜的峰值半高寬的影響。
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