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高性能MEMS加速度計為各種集成慣性測量的應(yīng)用提供低成本 解決方案。具體例子包括：導(dǎo)航和AHRS系統(tǒng)，用于機器健康狀 況檢測的振動監(jiān)控，基礎(chǔ)設(shè)施的結(jié)構(gòu)健康狀況監(jiān)控，以及用于 平臺穩(wěn)定、井下定向鉆探的傾斜監(jiān)控、施工行業(yè)平路機和勘測 設(shè)備的調(diào)平、吊車穩(wěn)定系統(tǒng)吊桿傾角測量的高精度傾角計。在 大多數(shù)此類例子中，加速度計會經(jīng)受不同幅度的振動。這些應(yīng) 用的另一個不同方面是振動的頻率成分。振動與傳感器和系統(tǒng) 誤差源相結(jié)合可能導(dǎo)致振動校正，這是高性能加速度計的一個 重要指標(biāo)。本文說明MEMS加速度計中的振動校正是如何發(fā)生 的，并討論各種測量此參數(shù)的技術(shù)。作為案例研究，本文會討 論低噪聲、低功耗加速度計ADXL355的振動校正。低振動校正 誤差以及所有其他特性，使這款器件成為上述精密應(yīng)用的理想 之選。
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