電子發(fā)燒友App
創(chuàng)作
發(fā)文章
發(fā)帖 
提問 
發(fā)資料
發(fā)視頻資料介紹
根據(jù)單晶硅各向異性腐蝕的特點(diǎn)，以晶格內(nèi)部原子鍵密度為主要因素，溫度、腐蝕液濃
度等環(huán)境因素為校正因子，建立了一個(gè)新穎的硅各向異性腐蝕的計(jì)算機(jī)模擬模型。在+,--開發(fā)環(huán)境下利用./0123 技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了硅各向異性腐蝕過程的三維微觀動態(tài)模擬，為深刻理解硅的各向異性腐蝕過程提供了直觀的界面。
硅各向異性腐蝕技術(shù)是MEMS加工的核心工藝之一。硅的各向異性腐蝕，是指硅的不同晶面具有不同的腐蝕速率1］。基于這種腐蝕特性，可在硅襯底上加工出各種各樣復(fù)雜的三維微結(jié)構(gòu)。如果能精確的對各向異性腐蝕的結(jié)果進(jìn)行計(jì)算機(jī)模擬，那么對于MEMS計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)系統(tǒng)的建立和MEMS工藝水平的提高，都有重要的意義2］。
度等環(huán)境因素為校正因子，建立了一個(gè)新穎的硅各向異性腐蝕的計(jì)算機(jī)模擬模型。在+,--開發(fā)環(huán)境下利用./0123 技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了硅各向異性腐蝕過程的三維微觀動態(tài)模擬，為深刻理解硅的各向異性腐蝕過程提供了直觀的界面。
硅各向異性腐蝕技術(shù)是MEMS加工的核心工藝之一。硅的各向異性腐蝕，是指硅的不同晶面具有不同的腐蝕速率1］。基于這種腐蝕特性，可在硅襯底上加工出各種各樣復(fù)雜的三維微結(jié)構(gòu)。如果能精確的對各向異性腐蝕的結(jié)果進(jìn)行計(jì)算機(jī)模擬，那么對于MEMS計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)系統(tǒng)的建立和MEMS工藝水平的提高，都有重要的意義2］。
下載該資料的人也在下載
下載該資料的人還在閱讀
更多 >
- 單晶硅的介紹和生長技術(shù)現(xiàn)狀資料概述 8次下載
- 基于圖形處理器進(jìn)行硅的各向異性腐蝕模擬 1次下載
- 微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）及硅在KOH中各向異性腐蝕的物理模型 25次下載
- 單晶硅表面堿溶液腐蝕的研究與硅酸鈉太陽能電池單晶硅表面織構(gòu)化的作用 8次下載
- 單晶硅的制造方法和設(shè)備和分離單晶硅堝底料中石英的工藝 18次下載
- 基于NSCT域各向異性雙變量萎縮圖像去噪 21次下載
- 各向異性磁阻傳感器的原理及其應(yīng)用 101次下載
- 單晶硅相關(guān)基礎(chǔ)知識 149次下載
- 一種改進(jìn)的各向異性高斯濾波算法
- 各向異性襯底上的高溫超導(dǎo)( HTS)微帶天線
- 環(huán)境對各向異性導(dǎo)電膠膜性能參數(shù)的影響
- 單軸各向異性異向介質(zhì)平板波導(dǎo)中的導(dǎo)模特性
- 基于改進(jìn)的各向異性擴(kuò)散的圖像恢復(fù)
- 靜磁表面波各向異性對帶通濾波器帶寬的影響
- 高階各向異性擴(kuò)散小波收縮圖像降噪算法
- 單晶硅片出貨前需通過哪些檢測指標(biāo)？ 597次閱讀
- 單晶硅的少子壽命是指什么？表面形態(tài)對單晶硅少子壽命有何影響？ 1978次閱讀
- 單晶硅電阻率的控制原理介紹 1053次閱讀
- XeF2和SF6可以相互替換嗎？XeF2和SF6對硅腐蝕的區(qū)別？ 581次閱讀
- 各向異性導(dǎo)電膠原理 各向異性導(dǎo)電膠的工藝步驟 1612次閱讀
- 詳解硅的晶面及應(yīng)用 1.2w次閱讀
- SDTR一種薄膜面內(nèi)各向異性熱導(dǎo)率的測量方法 375次閱讀
- 什么是單晶硅光伏板？單晶硅光伏板優(yōu)缺點(diǎn) 2857次閱讀
- 硅結(jié)構(gòu)的深且窄的各向異性蝕刻研究 891次閱讀
- 微機(jī)械中的各向異性蝕刻技術(shù)與發(fā)展方向 1196次閱讀
- 24張PPT解讀半導(dǎo)體單晶硅生長及硅片制備技術(shù) 7683次閱讀
- 單晶硅片的應(yīng)用及加工工藝流程 2w次閱讀
- Nature: 自然材料中的平面內(nèi)各向異性極化激元 4998次閱讀
- 單晶硅、多晶硅和非晶等幾種硅基太陽能電池的介紹 2.3w次閱讀
- 光伏技術(shù):單晶硅與多晶硅的區(qū)別 1w次閱讀
上傳資料賺積分下載排行
本周
- 1TC358743XBG評估板參考手冊
- 1.36 MB | 330次下載 | 免費(fèi)
- 2開關(guān)電源基礎(chǔ)知識
- 5.73 MB | 11次下載 | 免費(fèi)
- 3嵌入式linux-聊天程序設(shè)計(jì)
- 0.60 MB | 3次下載 | 免費(fèi)
- 4DIY動手組裝LED電子顯示屏
- 0.98 MB | 3次下載 | 免費(fèi)
- 5基于FPGA的C8051F單片機(jī)開發(fā)板設(shè)計(jì)
- 0.70 MB | 2次下載 | 免費(fèi)
- 651單片機(jī)窗簾控制器仿真程序
- 1.93 MB | 2次下載 | 免費(fèi)
- 751單片機(jī)大棚環(huán)境控制器仿真程序
- 1.10 MB | 2次下載 | 免費(fèi)
- 8基于51單片機(jī)的RGB調(diào)色燈程序仿真
- 0.86 MB | 2次下載 | 免費(fèi)
本月
- 1OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
- 0.00 MB | 234315次下載 | 免費(fèi)
- 2555集成電路應(yīng)用800例(新編版)
- 0.00 MB | 33566次下載 | 免費(fèi)
- 3接口電路圖大全
- 未知 | 30323次下載 | 免費(fèi)
- 4開關(guān)電源設(shè)計(jì)實(shí)例指南
- 未知 | 21549次下載 | 免費(fèi)
- 5電氣工程師手冊免費(fèi)下載(新編第二版pdf電子書)
- 0.00 MB | 15349次下載 | 免費(fèi)
- 6數(shù)字電路基礎(chǔ)pdf(下載)
- 未知 | 13750次下載 | 免費(fèi)
- 7電子制作實(shí)例集錦 下載
- 未知 | 8113次下載 | 免費(fèi)
- 8《LED驅(qū)動電路設(shè)計(jì)》 溫德爾著
- 0.00 MB | 6656次下載 | 免費(fèi)
總榜
- 1matlab軟件下載入口
- 未知 | 935054次下載 | 免費(fèi)
- 2protel99se軟件下載(可英文版轉(zhuǎn)中文版)
- 78.1 MB | 537798次下載 | 免費(fèi)
- 3MATLAB 7.1 下載 (含軟件介紹)
- 未知 | 420027次下載 | 免費(fèi)
- 4OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
- 0.00 MB | 234315次下載 | 免費(fèi)
- 5Altium DXP2002下載入口
- 未知 | 233046次下載 | 免費(fèi)
- 6電路仿真軟件multisim 10.0免費(fèi)下載
- 340992 | 191186次下載 | 免費(fèi)
- 7十天學(xué)會AVR單片機(jī)與C語言視頻教程 下載
- 158M | 183279次下載 | 免費(fèi)
- 8proe5.0野火版下載(中文版免費(fèi)下載)
- 未知 | 138040次下載 | 免費(fèi)
工商網(wǎng)監(jiān)
評論