資料介紹
采用EA-CVD(Electron Assisted Chemical Vapor Deposition)方法制備金剛石厚膜,在反應(yīng)氣體(CH4+H2)中添加乙醇,在保持其它條件不變的情況下研究了不同乙醇流量對金剛石膜生長的影響。利用拉曼光譜和SEM等測試方法對金剛石膜進行了表征,證實乙醇電離時產(chǎn)生的氫氧鍵對金剛石有很強的刻蝕作用。在沉積過程中向系統(tǒng)中加入乙醇對金剛石膜表面形貌有顯著的影響,適量的乙醇有利于提高膜品質(zhì)和生長速率,但過量的乙醇會導(dǎo)致對金剛石表面的刻蝕加劇,使金剛石膜的生長受到抑制。
關(guān)鍵詞:乙醇;金剛石膜;生長速率;刻蝕
金剛石膜具有優(yōu)異的力學(xué)、電學(xué)、光學(xué)和熱學(xué)性質(zhì),在高科技領(lǐng)域有非常廣泛的應(yīng)用前景。近年來對金剛石膜生長的研究得到了全面的迅速的發(fā)展[1],金剛石膜生長工藝的研究也日趨成熟,在某些領(lǐng)域已達到了工業(yè)化的要求。為了提高金剛石膜的品質(zhì)、生長速率,降低制備成本,目前仍有許多人在從事金剛石膜的生長特性、結(jié)晶特性以及反應(yīng)室內(nèi)部條件對金剛石生長影響的研究。Kadono等認為乙醇的加入有利于提高金剛石膜的生長速率[2],Ma ZB等認為乙醇的加入提高成核密度,降低金剛石生長的襯底溫度[3]。作者采用EA-CVD方法研究較高襯底溫度下乙醇對金剛石厚膜的生長速率、表面形貌的影響和乙醇對金剛石相的刻蝕。
- 如何才能生成金剛石散熱片和CVD金剛石散熱的應(yīng)用介紹
- 金剛石壓機壓力誤差補償?shù)腜ID控制研究 0次下載
- 金剛石散熱片的生成方法及在微波射頻領(lǐng)域的應(yīng)用解析 0次下載
- 金剛石壓機智能控制系統(tǒng)電路設(shè)計方案 0次下載
- 基于W77E58的金剛石壓機測控系統(tǒng)設(shè)計
- 壓阻式金剛石壓力傳感器的優(yōu)化設(shè)計
- 人造金剛石壓機嵌入式控制系統(tǒng)設(shè)計An Embedded Control System f
- 基于IPC 與PLC 相結(jié)合的金剛石合成機控制系統(tǒng)的研制
- P摻雜類金剛石薄膜的制備及生物學(xué)行為研究
- CVD金剛石厚膜晶格缺陷分析
- 負偏壓增強金剛石膜與襯底結(jié)合強度的理論研究
- 氮氣流量對金剛石膜生長的影響研究
- 真空電弧離子鍍膜方法沉積類金剛石膜在PMMA樹脂義齒表面的應(yīng)
- 金剛石磨輪的電火花成形磨削加工
- 基于ZnO金剛石Si結(jié)構(gòu)的瑞利波頻散特性計算
- CVD成為工業(yè)制造應(yīng)用更優(yōu)選 425次閱讀
- CVD金剛石在機械密封領(lǐng)域中的應(yīng)用 651次閱讀
- 金剛石表面改性技術(shù)研究概況 831次閱讀
- 高功率連續(xù)波單頻589nm金剛石鈉導(dǎo)星激光器研究 812次閱讀
- 異質(zhì)外延單晶金剛石及其相關(guān)電子器件的研究進展 1475次閱讀
- 基于金剛石優(yōu)異內(nèi)在特性的光子學(xué)應(yīng)用 562次閱讀
- 制造等離子納米金剛石 615次閱讀
- 金剛石半導(dǎo)體的特點 金剛石半導(dǎo)體的應(yīng)用市場 2671次閱讀
- 金剛石晶格約束下二維固態(tài)氦盤的晶體結(jié)構(gòu)介紹 1097次閱讀
- 乙醇的用途及具有哪些危害 1.7w次閱讀
- 超精密切削加工技術(shù)的歷史 6357次閱讀
- 金剛石基氮化鎵(GaN)技術(shù)的未來展望 1.4w次閱讀
- 激光焊接金剛石鋸片的一些參量檢測 684次閱讀
- 三分鐘帶你了解金剛石散熱片的生成方法及在微波射頻領(lǐng)域的應(yīng)用 8804次閱讀
- 金剛石合成控制系統(tǒng)中多串口通信技術(shù)的設(shè)計與實現(xiàn) 818次閱讀
下載排行
本周
- 1電子電路原理第七版PDF電子教材免費下載
- 0.00 MB | 1491次下載 | 免費
- 2單片機典型實例介紹
- 18.19 MB | 93次下載 | 1 積分
- 3S7-200PLC編程實例詳細資料
- 1.17 MB | 27次下載 | 1 積分
- 4筆記本電腦主板的元件識別和講解說明
- 4.28 MB | 18次下載 | 4 積分
- 5開關(guān)電源原理及各功能電路詳解
- 0.38 MB | 11次下載 | 免費
- 6100W短波放大電路圖
- 0.05 MB | 4次下載 | 3 積分
- 7基于AT89C2051/4051單片機編程器的實驗
- 0.11 MB | 4次下載 | 免費
- 8基于單片機的紅外風扇遙控
- 0.23 MB | 3次下載 | 免費
本月
- 1OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
- 0.00 MB | 234313次下載 | 免費
- 2PADS 9.0 2009最新版 -下載
- 0.00 MB | 66304次下載 | 免費
- 3protel99下載protel99軟件下載(中文版)
- 0.00 MB | 51209次下載 | 免費
- 4LabView 8.0 專業(yè)版下載 (3CD完整版)
- 0.00 MB | 51043次下載 | 免費
- 5555集成電路應(yīng)用800例(新編版)
- 0.00 MB | 33562次下載 | 免費
- 6接口電路圖大全
- 未知 | 30320次下載 | 免費
- 7Multisim 10下載Multisim 10 中文版
- 0.00 MB | 28588次下載 | 免費
- 8開關(guān)電源設(shè)計實例指南
- 未知 | 21539次下載 | 免費
總榜
- 1matlab軟件下載入口
- 未知 | 935053次下載 | 免費
- 2protel99se軟件下載(可英文版轉(zhuǎn)中文版)
- 78.1 MB | 537791次下載 | 免費
- 3MATLAB 7.1 下載 (含軟件介紹)
- 未知 | 420026次下載 | 免費
- 4OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
- 0.00 MB | 234313次下載 | 免費
- 5Altium DXP2002下載入口
- 未知 | 233046次下載 | 免費
- 6電路仿真軟件multisim 10.0免費下載
- 340992 | 191183次下載 | 免費
- 7十天學(xué)會AVR單片機與C語言視頻教程 下載
- 158M | 183277次下載 | 免費
- 8proe5.0野火版下載(中文版免費下載)
- 未知 | 138039次下載 | 免費
評論
查看更多