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:采用“摸扳法”以對甲基苯酚、42硝基鄰苯二晴為原材料,以N ,N 二甲基甲酰胺為溶劑,在N2 保護和碳酸鉀的催化作用下,合成了酞菁分子碎片,通過質(zhì)譜分析確定了相對分子質(zhì)量為243 (理論值為243. 34) ,驗證了工藝過程的正確性。以共溶技術將分子碎片與氯化鈀在正戊醇、DBU 作用下合成墨綠色四取代對甲苯氧基PdPc ,通過紅外吸收光譜分析驗證了其吸收峰的測量值與理論值基本吻合,確定了合成反應終產(chǎn)物,進而以一定比例將PdPc 、H2 PtCl6 共溶在甲醇溶液中,在30～50 ℃下48 h 雜化合成為有機半導體氣敏材料。依據(jù)歐姆定律,并以激光微加工、半導體技術設計、制作了多孔電極平板結(jié)構,增大電極面積,降低了電極間距,比常用叉指電極結(jié)構的電阻降低了103 倍以上,使其電導率接近無機半導體數(shù)量級,利于后續(xù)電路信號采集。通過電鏡觀察了多孔電極的微觀SEM 形貌,確定其為連續(xù)、多孔的表面態(tài),氣孔在<0. 1～<2μm ,既保證了導電,又有透氣的特征。以真空鍍膜技術將氣敏材料形成氣敏膜,電鏡觀察其氣敏膜的微觀SEM 形貌,基本層膜厚2μm ,并有<0. 1～<5μm 微球結(jié)晶體嵌入,分布勻一,呈現(xiàn)繼續(xù)互融生長趨勢。以靜態(tài)法測量其氣敏特性,結(jié)果表明傳感器對NO2 呈N 型半導體,0. 010 %氣體濃度下靈敏度為7. 45 倍;對NO 呈P 型半導體,0. 010 %氣體濃度下靈敏度為0. 25 倍;響應時間為90s。對氣體不同的變化規(guī)律說明其的氣敏機理與氣體性能有關。
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