微電子機(jī)械系統(tǒng)是指利用半導(dǎo)體技術(shù)設(shè)計(jì)和制造微米領(lǐng)域的三維力學(xué)系統(tǒng)，形成高度自動(dòng)化、智能化，可以大批生產(chǎn)，價(jià)格低廉的微電子機(jī)械系統(tǒng)，具有廣闊的應(yīng)用前景，開辟了制造集成到硅片上的微米傳感器和微米電機(jī)的嶄新可能性。