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標(biāo)簽 > 離子束
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美國進(jìn)口 KRi 考夫曼離子源 KDC 160 硅片刻蝕清潔案例
上海伯東美國 KRi 大尺寸考夫曼離子源 KDC 160 適用于 2-4英寸的硅片刻蝕和清潔應(yīng)用, KRi KDC 160 是直流柵網(wǎng)離子源, 高輸出離...
半導(dǎo)體制造中FIB、SEM關(guān)鍵技術(shù)原理
聚焦離子束(Focused Ion beam,F(xiàn)IB)是一種利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的顯微切割儀器。 聚焦后作用于樣品表面。
二次離子質(zhì)譜(SIMS)是一種分析方法。具有高空間分辨率和高靈敏度的工具。它使用高度聚焦的離子束(通常是氧氣或(無機樣品用銫離子)“濺射”樣品表面上選...
2022-11-22 標(biāo)簽:離子束 1015 0
離子束拋光在微電子封裝失效分析領(lǐng)域的應(yīng)用
共讀好書 王剛 馮麗婷 李潮 黎恩良 鄭林挺 胡宏偉劉家儒 夏姍姍 武慧薇 (工業(yè)和信息化部電子第五研究所) 摘要: 首先,以具體微電子封裝失效機理和失...
離子束用于各種應(yīng)用場合,諸如,質(zhì)譜儀和離子注入機等。離子 束電流通常非常?。╩A), 所以需要使用靜電計或皮安表來進(jìn)行測量。今天安泰測試為大家介紹如何使...
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