硅片厚薄不均預(yù)防措施
1、TV偏大或偏?。焊鶕?jù)客戶要求片厚，計算出最佳成本/質(zhì)量的槽距，鋼線，碳化硅，砂漿密度。
2、TTV》15mm的硅片占比超過0.62%，屬于異常。對于一次切割的單位，應(yīng)增加導(dǎo)向條(部位不提供)，兩次切割的單位最好把導(dǎo)輪(主輥)槽距改一下或第二次切割時砂漿流量增大500公斤/小時(5l/min)或多更換20公斤砂漿。
3、硅片的進(jìn)刀處的進(jìn)線端(角)偏薄或偏厚，應(yīng)修改進(jìn)刀時的砂漿流量
4、同一個硅片的厚度呈大-小-大-小分布的，應(yīng)調(diào)整切割工藝程序。進(jìn)給，線速，流量應(yīng)均勻同步變化。
5、跳線引起的某刀硅片厚度異常，同一個片的厚度異常，不同片子的厚度偏差等，因通過加過濾網(wǎng)/過濾袋/振蕩過濾器和切割前仔細(xì)過濾，沒有跳線來消除。