MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。它具有體積小、質(zhì)量輕、成本低、功耗低、可靠性高、技術(shù)附加值高，適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化等特點(diǎn)。
MEMS傳感器通常被分為以下7類。
1、壓力傳感器：絕對壓力的傳感器和計量壓力的傳感器。
2、熱學(xué)傳感器：溫度和熱量傳感器。
3、力學(xué)傳感器：力、壓強(qiáng)、速度和加速度傳感器。
4、化學(xué)傳感器：化學(xué)濃度、化學(xué)成分和反應(yīng)率傳感器。
5、磁學(xué)傳感器： 磁場強(qiáng)度、磁通密度和磁化強(qiáng)度傳感器。
6、輻射傳感器：電磁波強(qiáng)度傳感器。
7、電學(xué)傳感器：電壓、電流和電荷傳感器。
除了上面介紹的幾種典型MEMS傳感器外，還有許許多多的MEMS傳感器，如用于微觀判斷的MEMS觸覺傳感器、MEMS生物傳感器、MEMS圖像傳感器等。在不同環(huán)境中，MEMS傳感器的技術(shù)應(yīng)用也是不同的。
MEMS傳感器已在消費(fèi)電子產(chǎn)品、汽車工業(yè)、醫(yī)療保健、機(jī)器人及自動化工業(yè)、太空衛(wèi)星、運(yùn)載火箭、航空航天設(shè)備等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，其中消費(fèi)類電子已經(jīng)成為了MEMS傳感器的第一大應(yīng)用市場，2014年全球銷售額已達(dá)30億美元。
隨著汽車、智能裝備、家電類產(chǎn)品領(lǐng)域的迅速增長，MEMS傳感器用量將大大增加。物聯(lián)網(wǎng)、云計算、大數(shù)據(jù)、智慧城市更為傳感器創(chuàng)造了良好的市場空間，農(nóng)業(yè)、環(huán)保、食品檢測、智慧醫(yī)療、健康養(yǎng)老、可穿戴設(shè)備、機(jī)器人、3D打印也為MEMS傳感器技術(shù)的提升和應(yīng)用創(chuàng)新拓展了思路。
2014年，全球MEMS傳感器市場規(guī)模為130億美元，分析機(jī)構(gòu)預(yù)計2015-2020年MEMS傳感器市場將以13%年復(fù)合成長率增長，2020年將達(dá)到300億美元。
近十年來，中國的MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)系統(tǒng)逐步完善，已形成從技術(shù)研發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)到應(yīng)用的完整體系， 部分細(xì)分領(lǐng)域已躋身世界領(lǐng)先水平。
據(jù)分析機(jī)構(gòu)YOLE報告，2014年，全球排名前30的MEMS傳感器市場廠商當(dāng)中，中國占據(jù)了2個席位，瑞聲科技，排名20；歌爾聲學(xué)，排在第27位。從產(chǎn)業(yè)的角度而言，對中國MEMS傳感器企業(yè)起到了很好的引導(dǎo)示范作用。
MEMS麥克風(fēng)供應(yīng)商歌爾聲學(xué)（Goertek）、瑞聲科技（ACC）、共達(dá)電聲（Gettop）等通過購買英飛凌的MEMS和ASIC芯片，然后自己封裝；瑞聲科技和歌爾聲學(xué)分別是全球第二和第四大MEMS麥克風(fēng)供應(yīng)商，出貨量占2014年全球市場的25%。
美新（MEMSIC）的加速度計和磁力計，深迪（Senodia）的磁力計和陀螺儀，明皜（MiraMEMS）加速度計、磁力計、6軸電子羅盤，矽睿（QST）加速度計和磁力計，蘇州敏芯微電子MEMS麥克風(fēng)。這些MEMS企業(yè)雖然有些產(chǎn)品出貨量還比較低，但是在低端消費(fèi)領(lǐng)域還是有了一定的竟?fàn)幜Α?/p>
截至2014年的統(tǒng)計數(shù)據(jù)，中國MEMS 傳感器企業(yè)已經(jīng)有190家。其中做MEMS軟件與專用電路的有11家；做MEMS產(chǎn)品設(shè)計的有143家；做MEMS封裝與測試的有16家；做MEMS前端制造工藝線的，有20家。
2015年，中國重要的MEMS傳感器初創(chuàng)企業(yè)在市場上披荊斬棘，順利拿到了融資，未來前景可期。
共達(dá)電聲擬以不超過2500萬元收購北京卓銳微技術(shù)有限公司100%股權(quán)。公司擬通過上述股權(quán)收購，掌握國產(chǎn)MEMS麥克風(fēng)核心芯片研發(fā)、生產(chǎn)技術(shù)，提高微電聲產(chǎn)品整體研發(fā)水平，并有效垂直整合MEMS麥克風(fēng)產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)鏈條，縮短新產(chǎn)品開發(fā)周期，開辟國產(chǎn)MEMS麥克風(fēng)替代進(jìn)口市場。北京卓銳微技術(shù)有限公司是一家優(yōu)秀的集成電路芯片、MEMS芯片設(shè)計、研發(fā)公司，獨(dú)立提供完整的MEMS麥克風(fēng)核心芯片解決方案。
矽立科技（mCube）獲得盛世投資的上億人民幣投資。（盛世投資剛收購了全球領(lǐng)先的純MEMS代工廠Silex Microsystems）。矽立科技（mCube）致力于將MEMS運(yùn)動傳感器應(yīng)用在一切可移動的物體，提供便捷的互聯(lián)，從而改變消費(fèi)者的生活和商業(yè)交互方式。
蘇州固锝電子股份有限公司子公司明皜傳感A輪融資金額9500萬元。明皜傳感主要從事MEMS傳感器的研發(fā)、設(shè)計和生產(chǎn)，并提供相關(guān)技術(shù)服務(wù)。主要產(chǎn)品方向有：加速度計、陀螺儀（研發(fā)中）、壓力傳感器、磁傳感器和MEMS麥克風(fēng)，旨在為消費(fèi)電子、汽車電子、工業(yè)自動化等領(lǐng)域提供所需的產(chǎn)品和集成方案。
蘇州敏芯微電子技術(shù)有限公司的老股東增值2000多萬元。蘇州敏芯微電子技術(shù)有限公司成立于2007年，是中國國內(nèi)最早成立的MEMS研發(fā)公司之一。，擁有數(shù)項(xiàng)涉及MEMS關(guān)鍵技術(shù)的突破性發(fā)明和世界級科研成果。敏芯微電子的主要產(chǎn)品有MEMS麥克風(fēng)、壓力傳感器、慣性傳感器等。
盡管中國MEMS 傳感器已取得長足的進(jìn)步，但中國作為全球最大的電子產(chǎn)品生產(chǎn)基地，消耗全球四分之一的MEMS器件，可大部分MEMS傳感器仍依賴進(jìn)口，就總體水平而言，國內(nèi)MEMS傳感器仍以中低端為主，技術(shù)相對落后，與歐美日相比，國內(nèi)在整個產(chǎn)業(yè)的各個環(huán)節(jié)都有差距，制造技術(shù)和封裝技術(shù)更加明顯，原始性創(chuàng)新的產(chǎn)品少，導(dǎo)致產(chǎn)品的附加值和市場份額都比較低。
MEMS傳感器屬于集成電路行業(yè)，從集成電路行業(yè)分析看來，MEMS傳感器是我們與國外差距比較小的領(lǐng)域，這與MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)整體起步較晚不無關(guān)系，而且與IC產(chǎn)品品種比較單一不同，MEMS傳感器產(chǎn)品多樣，創(chuàng)新空間巨大。
蘇州敏芯微電子技術(shù)有限公司CEO李剛就表示：“客觀地講中國MEMS領(lǐng)域的研發(fā)水平總體上是落后于國外不少，但是我一直覺得我們有很大的機(jī)會進(jìn)行局部突破。從長期來看，我一直看多國內(nèi)的MEMS產(chǎn)業(yè)。因?yàn)镸EMS產(chǎn)業(yè)并不遵從摩爾定律，不是一個先進(jìn)工藝驅(qū)動的產(chǎn)業(yè)。這就意味著，一旦國內(nèi)廠商采購了專用 MEMS設(shè)備，它不必向半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)那樣不斷升級更新進(jìn)的設(shè)備。設(shè)備具備了，生產(chǎn)環(huán)節(jié)又是國內(nèi)代工廠的優(yōu)勢，國內(nèi)的市場又足夠大能支撐起很多MEMS公司， 那么國內(nèi)MEMS公司耐心地做好技術(shù)，那么就能帶動整個產(chǎn)業(yè)鏈，達(dá)到一個很好的良性循環(huán)?！?/p>
依托全球最大的消費(fèi)類市場，基于本土化的優(yōu)勢，設(shè)計、工藝做到與國際廠商看齊，成本擁有本土優(yōu)勢，而技術(shù)支持可以做到實(shí)時，這就是本土MEMS傳感器廠商的競爭優(yōu)勢。
目前國家對MEMS傳感器行業(yè)的政策支持力度非常大，本土廠商要趁著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)增速放緩和國家大力支持MEMS產(chǎn)業(yè)化之際，通過并購重組進(jìn)一步完善整個產(chǎn)業(yè)鏈，逐步累積 MEMS領(lǐng)域的專利，不斷提高國內(nèi)設(shè)計及工藝技術(shù)水平，積極引進(jìn)國際化人才并加快本土人才的培養(yǎng)。
小結(jié)：隨著MEMS傳感器市場的不斷擴(kuò)大，在物聯(lián)網(wǎng)機(jī)遇下，我國MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)將迎來巨大發(fā)展前景，布局得當(dāng)有可能實(shí)現(xiàn)“彎道超車”， 通過幾年的努力躋身全球第一陣營，實(shí)現(xiàn)跨越式發(fā)展。