金屬氧化物陶瓷濕敏元件?
將極其微細(xì)的金屬氧化物顆粒在高溫1300℃下燒結(jié)，可制成多孔體的金屬氧化物陶瓷，在這種多孔體表面加上電極，引出接線端子就可做成陶瓷濕敏元件。濕敏元件使用時必須裸露于測試環(huán)境中，故油垢、塵土和有害于元件的物質(zhì)(氣、固體)都會使其物理吸附和化學(xué)吸附性能發(fā)生變化，引起元件特性變壞。而金屬氧化物陶瓷濕敏元件的陶瓷燒結(jié)體物理和化學(xué)狀態(tài)穩(wěn)定，可以用加熱去污方法恢復(fù)元件的濕敏特性，而且燒結(jié)體的表面結(jié)構(gòu)極大地擴(kuò)展元件表面與水蒸氣的接觸面積，使水蒸氣易于吸著和脫去，還可通過控制元件的細(xì)微構(gòu)造使物理性吸附占主導(dǎo)地位，獲得最佳的濕敏特性。因此陶瓷濕敏元件的使用壽命長、元件特性穩(wěn)定，是目前最有可能成為工程應(yīng)用的主要濕敏元件之一。陶瓷濕敏元件的使用溫度為0～160℃。
在諸多的金屬氧化物陶瓷材料中，由鉻酸鎂－二氧化鈦固溶體組成的多孔性半導(dǎo)體陶瓷是性能較好的濕敏材料，它的表面電阻率能在很寬的范圍內(nèi)隨著濕度的變化而變化，而且能在高溫條件下進(jìn)行反復(fù)的熱清洗，性能仍保持不變。圖3為這種陶瓷濕敏元件結(jié)構(gòu)。