晶圓級(jí)磁光克爾測(cè)量儀性能介紹

　　利用極向/縱向磁光克爾效應(yīng)（MOKE），快速全局檢測(cè)晶圓膜堆的磁性。非接觸式測(cè)量，避免了傳統(tǒng)磁性表征對(duì)晶圓的破壞，可應(yīng)用于圖形化前后的樣品檢測(cè)?？商峁└哌_(dá)2.5 T垂直磁場(chǎng)/1.3 T面內(nèi)磁場(chǎng)。

　　強(qiáng)磁場(chǎng)可誘導(dǎo)垂直各向異性磁性隨機(jī)存儲(chǔ)器（MRAM）膜堆的自由層、參考層與釘扎層的翻轉(zhuǎn)。超高克爾檢出靈敏度，可以單次同時(shí)表征不同膜層的細(xì)微磁性變化。將激光逐點(diǎn)探測(cè)與掃描成像結(jié)合，可以快速創(chuàng)建晶圓磁特性全局圖譜，輔助工藝優(yōu)化與良率控制。

　　設(shè)備性能

　　●樣品尺寸：最大支持12英寸晶圓測(cè)試且向下兼容，支持碎片測(cè)試;

　　●磁場(chǎng)：最大垂直磁場(chǎng)優(yōu)于土2.5 T，最大面內(nèi)磁場(chǎng)優(yōu)于1.3 T，磁場(chǎng)分辨率1 μT;

　　●磁性檢測(cè)靈敏度：克爾轉(zhuǎn)角檢出度優(yōu)于0.3 mdeg （RMS），適用多層膜堆的磁性表征;

　　●樣品重復(fù)定位精度：優(yōu)于土1 μm，靜態(tài)抖動(dòng)≤土0.25 μm。功能及應(yīng)用場(chǎng)景

　　●磁性隨機(jī)存儲(chǔ)器膜堆和器件陣列的垂直磁滯回線測(cè)量（PolarKerrforMRAM）;。

　　●磁盤等磁存儲(chǔ)介質(zhì)的垂直磁滯回線測(cè)量（Polar Kerr for PMR Disk） ;

　　●磁性傳感器件膜堆的面內(nèi)磁滯回線測(cè)量;

　　●自動(dòng)提取磁滯回線信息，如自由層和釘扎層Hc、Hex、Ms等，可快速繪制晶圓的磁性特性分布圖;

　　●系統(tǒng)預(yù)置單點(diǎn)、陣列、環(huán)形分布等掃點(diǎn)模式，且支持自定義位置列表的導(dǎo)入;

　　●系統(tǒng)提供手動(dòng)加載或全自動(dòng)操作方式，滿足研發(fā)/生產(chǎn)需求。