士蘭微MEMS傳感器特色發(fā)展之路

自從智能手機(jī)催生了龐大的MEMS傳感器市場起，MEMS供應(yīng)商之間的競爭越來越激烈，但I(xiàn)DM模式的MEMS廠商持續(xù)處于領(lǐng)導(dǎo)地位，目前全球MEMS市場被博世、意法半導(dǎo)體、霍尼韋爾等國際廠商占據(jù)超過60%的份額，中國市場80%的芯片依賴國外進(jìn)口，國內(nèi)MEMS企業(yè)中70%是中小企業(yè)，產(chǎn)品主要集中在中低端。

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SILAN

士蘭微自1997年成立以來，實現(xiàn)了芯片設(shè)計、制造、封測等環(huán)節(jié)的一體化布局，為逐步發(fā)展成為MEMS IDM 供應(yīng)商奠定了堅實的基礎(chǔ)。自2010年開始，士蘭微電子投入大量資金，通過對加速度傳感器、地磁傳感器、壓力傳感器等一系列傳感器產(chǎn)品的開發(fā)，在6吋、8吋芯片生產(chǎn)線上實現(xiàn)了批量制造能力，并建立自己的MEMS封測生產(chǎn)線，初步走通了系列傳感器的IDM發(fā)展之路，已申請相關(guān)發(fā)明專利百余項。

2012年11月，士蘭微電子研發(fā)成功了第一顆MEMS慣性加速度計電路SC7A30；2013年08月，士蘭微電子推出第一顆三軸磁傳感器電路SC7M30；這兩款產(chǎn)品均采用3.0mm x 3.0mm x 1.0mm的LGA封裝，可應(yīng)用于智能手機(jī)和平板電腦等各種場合。

2016年，士蘭微推出國內(nèi)首款單芯片六軸慣性傳感器SC7I20。2019年2月，士蘭微推出了專門為快速增長的消費終端市場開發(fā)的高性能MEMS硅麥克風(fēng)系列產(chǎn)品。

慣性加速度計電路SC7A30

目前，公司系列化的傳感器產(chǎn)品主要有：加速度傳感器、陀螺儀、多軸慣性傳感器、地磁傳感器、空氣壓力傳感器、溫濕度傳感器、硅麥克風(fēng)、接近及環(huán)境光傳感器、心率傳感器、電流傳感器、角度及位置傳感器、車用胎壓傳感器、霍爾傳感器等。

士蘭微電子MEMS傳感器的研發(fā)得到了國家重大科技專項的支持。2013年公司承擔(dān)了“面向移動終端和物聯(lián)網(wǎng)的智能傳感器產(chǎn)品制造與封裝一體化集成技術(shù)”項目，目前該項目已通過綜合績效評價。

2020年1月10日，國務(wù)院召開了2019年度國家科學(xué)技術(shù)獎勵大會。士蘭微電子參與完成的“高效模數(shù)轉(zhuǎn)換器和模擬前端芯片關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”項目獲得國家技術(shù)發(fā)明獎二等獎，該項目發(fā)明了高效可配置模數(shù)轉(zhuǎn)換及模擬前端芯片架構(gòu)、高效誤差數(shù)字校準(zhǔn)及高精度時鐘、高效模擬前端采樣等技術(shù)，可應(yīng)用于多維傳感器、鋰電管理系統(tǒng)等系列產(chǎn)品，解決了高效模數(shù)轉(zhuǎn)換器及模擬前端芯片的自主可控發(fā)展的難題。

2020年8月26日，由中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會、中國電子材料行業(yè)協(xié)會、中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會、中國電子報社主辦的第十四屆（2019年度）中國半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)評選結(jié)果揭曉。士蘭微電子“三軸微機(jī)械數(shù)字加速度傳感器”榜上有名，榮獲“第十四屆（2019年度）中國半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)”。

目前全球前十大的MEMS公司均為歐美日企業(yè)，國際MEMS大廠（惠普、TI、意法半導(dǎo)體、博世等）都以IDM（設(shè)計/制造一體化）模式運營，可以說IDM模式于MEMS產(chǎn)品更具優(yōu)勢。這是由于：

首先制造傳感器沒有標(biāo)準(zhǔn)工藝，不同類型的傳感器所采用的工藝路線均不相同；

第二，一顆傳感器產(chǎn)品可以視為一個系統(tǒng)，其封裝對產(chǎn)品性能和可能性影響非常大；

第三，傳感器和傳感器系統(tǒng)的晶圓測試和產(chǎn)品測試與普通的CMOS芯片差異非常大；

最后，IDM廠商對于MEMS生產(chǎn)和供貨具有更強(qiáng)的穩(wěn)定性和彈性。

三軸加速度傳感器芯片SC7A20

以加速度計傳感器為例，代表性的國際廠商包括意法半導(dǎo)體、博世等都是IDM廠商，產(chǎn)品性能高，是真三軸，但是也存在價格高、供貨在交期方面有一定風(fēng)險；而國內(nèi)廠商雖然在價格方面具有一定優(yōu)勢，但由于多數(shù)是fabless企業(yè)，其在產(chǎn)能、產(chǎn)品可靠性方面經(jīng)常出現(xiàn)不能滿足客戶需求的情況，甚至有些產(chǎn)品還可能是假三軸。士蘭微加速度計傳感器產(chǎn)品憑借內(nèi)置的MEMS傳感器芯片出色的抗機(jī)械沖擊性能和抗回流焊沖擊性能贏得多家全球頂級品牌智能手機(jī)客戶的認(rèn)可，目前已大批量應(yīng)用在多款頂級品牌的智能手機(jī)當(dāng)中。

憑借在MEMS設(shè)計和制造領(lǐng)域的長期積累，士蘭微電子可以在實現(xiàn)優(yōu)化制造成本的同時，持續(xù)為客戶提供差異化的產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。公司在智能手機(jī)和智能穿戴領(lǐng)域積累了較多的客戶群，截至目前，加速度計傳感器累計出貨量已超過3億只。

隨著，士蘭傳感器產(chǎn)品在智能手機(jī)、平板電腦、智能手環(huán)、智能門鎖、行車記錄儀、TWS耳機(jī)等領(lǐng)域的進(jìn)一步拓展，預(yù)計今后公司MEMS傳感器產(chǎn)品的出貨量還將快速增長。