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電子發(fā)燒友網(wǎng)>制造/封裝>半導(dǎo)體技術(shù)>半導(dǎo)體新聞>“離子束加工”引領(lǐng)微納制造產(chǎn)業(yè)下一波突破

“離子束加工”引領(lǐng)微納制造產(chǎn)業(yè)下一波突破

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2021-03-17 20:10:4815

關(guān)于聚焦離子束技術(shù)的簡介與淺析

聚焦離子束技術(shù)(Focused Ion beam,F(xiàn)IB)是利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的離子束轟擊材料表面,實現(xiàn)材料的剝離、沉積、注入、切割和改性。隨著納米科技的發(fā)展,納米尺度制造業(yè)發(fā)展迅速,而納米加工就是納米制造業(yè)的核心部分,納米加工的代表性方法就是聚焦離子束
2021-04-03 13:51:003143

聚焦離子束(FIB)技術(shù)介紹

隨著納米科技的發(fā)展,納米尺度制造業(yè)發(fā)展迅速,而納米加工就是納米制造業(yè)的核心部分,納米加工的代表性方法就是聚焦離子束
2021-03-25 16:40:0814084

吉時利皮安表在離子束測量的應(yīng)用

離子束用于各種應(yīng)用場合,諸如,質(zhì)譜儀和離子注入機等。離子 束電流通常非常?。╩A), 所以需要使用靜電計或皮安表來進行測量。今天安泰測試為大家介紹如何使用吉時利皮安表6485 型和 6487 型皮安表來進行這種測量工作。在電流靈敏度更高時,可以改用靜電計來進行測量。
2021-09-10 14:04:57581

一文詳解離子束工藝技術(shù)

 二次離子質(zhì)譜(SIMS)是一種分析方法。具有高空間分辨率和高靈敏度的工具。它使用高度聚焦的離子束(通常是氧氣或(無機樣品用銫離子)“濺射”樣品表面上選定區(qū)域的材料。
2022-11-22 10:44:09652

聚焦離子束技術(shù)介紹

科技的發(fā)展,納米尺度制造業(yè)發(fā)展迅速,而納米加工就是納米制造業(yè)的核心部分,納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來發(fā)展起來的聚焦離子束技術(shù)(FIB)利用高強度聚焦離子束對材料進行納米加工,配合掃描電鏡(SEM)等高倍數(shù)電子顯微鏡實時觀察,成為了納米
2023-01-16 17:10:221891

上海伯東大口徑射頻離子源成功應(yīng)用于12英寸IBE 離子束蝕刻機

上海伯東美國?KRi?考夫曼公司大口徑射頻離子源?RFICP 380, RFICP 220 成功應(yīng)用于 12英寸和 8英寸?IBE 離子束蝕刻機, 實現(xiàn) 300mm 和 200mm 硅片蝕刻, 刻蝕
2023-06-15 14:58:47665

KRi 射頻離子源應(yīng)用于國產(chǎn)離子束濺射鍍膜機 IBSD

上海伯東客戶某高校使用國產(chǎn)品牌離子束濺射鍍膜機用于金屬薄膜制備, 工藝過程中, 國產(chǎn)離子源鎢絲僅使用 18個小時就會燒斷, 必須中斷鍍膜工藝更換鎢絲, 無法滿足長時間離子束濺射鍍膜的工藝要求, 導(dǎo)致
2023-05-25 15:53:36770

AMEYA360分析蔡司用于亞10納米級應(yīng)用的離子束顯微鏡

蔡司用于亞10納米級應(yīng)用的離子束顯微鏡ORION NanoFab,集 3 種聚焦離子束于一身的顯微鏡,可以實現(xiàn)亞 10 nm 結(jié)構(gòu)的超高精度加工快速、精準(zhǔn)的亞 10 納米結(jié)構(gòu)加工。借助 ORION
2023-07-19 15:45:07244

雙束聚焦離子束FIBSEM在微電子技術(shù)中的應(yīng)用

博仕檢測聚焦離子束FIB-SEM測試案例
2023-09-04 18:49:41461

KRi 射頻離子源 IBSD 離子束濺射沉積應(yīng)用

和  IBD 離子束沉積是其典型的應(yīng)用. KRi 離子源在 IBSD 離子束濺射沉積應(yīng)用通常安裝兩個離子源主要濺射沉積源和二次預(yù)清潔 / 離子輔助源
2023-05-25 10:18:34

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