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解析CPU制造工藝以及生產(chǎn)全過程

0GkM_KIA ? 來源:djl ? 作者:KIA半導(dǎo)體 ? 2019-08-12 14:39 ? 次閱讀

CPU是現(xiàn)代計算機(jī)的核心部件,又稱為“微處理器”。對于PC而言,CPU的規(guī)格與頻率常常被用來作為衡量一臺電腦性能強(qiáng)弱重要指標(biāo)。Intelx86架構(gòu)已經(jīng)經(jīng)歷了二十多個年頭,而x86架構(gòu)的CPU對我們大多數(shù)人的工作、生活影響頗為深遠(yuǎn)。

許多對電腦知識略知一二的朋友大多會知道CPU里面最重要的東西就是晶體管了,提高CPU的速度,最重要的一點說白了就是如何在相同的CPU面積里面放進(jìn)去更加多的晶體管,由于CPU實在太小,太精密,里面組成了數(shù)目相當(dāng)多的晶體管,所以人手是絕對不可能完成的,只能夠通過光刻工藝來進(jìn)行加工的。

這就是為什么一塊CPU里面為什么可以數(shù)量如此之多的晶體管。晶體管其實就是一個雙位的開關(guān):即開和關(guān)。如果您回憶起基本計算的時代,那就是一臺計算機(jī)需要進(jìn)行工作的全部。兩種選擇,開和關(guān),對于機(jī)器來說即0和1。那么您將如何制作一個CPU呢?在今天的文章中,我們將一步一步的為您講述中央處理器從一堆沙子到一個功能強(qiáng)大的集成電路芯片的全過程。

KIA-MOS管

制造CPU的基本原

如果問及CPU的原料是什么,大家都會輕而易舉的給出答案—是硅。這是不假,但硅又來自哪里呢?其實就是那些最不起眼的沙子。難以想象吧,價格昂貴,結(jié)構(gòu)復(fù)雜,功能強(qiáng)大,充滿著神秘感的CPU竟然來自那根本一文不值的沙子。當(dāng)然這中間必然要經(jīng)歷一個復(fù)雜的制造過程才行。不過不是隨便抓一把沙子就可以做原料的,一定要精挑細(xì)選,從中提取出最最純凈的硅原料才行。試想一下,如果用那最最廉價而又儲量充足的原料做成CPU,那么成品的質(zhì)量會怎樣,你還能用上像現(xiàn)在這樣高性能的處理器嗎?

除去硅之外,制造CPU還需要一種重要的材料就是金屬。目前為止,鋁已經(jīng)成為制作處理器內(nèi)部配件的主要金屬材料,而銅則逐漸被淘汰,這是有一些原因的,在目前的CPU工作電壓下,鋁的電遷移特性要明顯好于銅。所謂電遷移問題,就是指當(dāng)大量電子流過一段導(dǎo)體時,導(dǎo)體物質(zhì)原子受電子撞擊而離開原有位置,留下空位,空位過多則會導(dǎo)致導(dǎo)體連線斷開,而離開原位的原子停留在其它位置,會造成其它地方的短路從而影響芯片的邏輯功能,進(jìn)而導(dǎo)致芯片無法使用。

除了這兩樣主要的材料之外,在芯片的設(shè)計過程中還需要一些種類的化學(xué)原料,它們起著不同的作用,這里不再贅述。

CPU制造的準(zhǔn)備階段

在必備原材料的采集工作完畢之后,這些原材料中的一部分需要進(jìn)行一些預(yù)處理工作。而作為最主要的原料,硅的處理工作至關(guān)重要。首先,硅原料要進(jìn)行化學(xué)提純,這一步驟使其達(dá)到可供半導(dǎo)體工業(yè)使用的原料級別。而為了使這些硅原料能夠滿足集成電路制造的加工需要,還必須將其整形,這一步是通過溶化硅原料,然后將液態(tài)硅注入大型高溫石英容器而完成的。

而后,將原料進(jìn)行高溫溶化。中學(xué)化學(xué)課上我們學(xué)到過,許多固體內(nèi)部原子是晶體結(jié)構(gòu),硅也是如此。為了達(dá)到高性能處理器的要求,整塊硅原料必須高度純凈,及單晶硅。然后從高溫容器中采用旋轉(zhuǎn)拉伸的方式將硅原料取出,此時一個圓柱體的硅錠就產(chǎn)生了。從目前所使用的工藝來看,硅錠圓形橫截面的直徑為200毫米。

不過現(xiàn)在intel和其它一些公司已經(jīng)開始使用300毫米直徑的硅錠了。在保留硅錠的各種特性不變的情況下增加橫截面的面積是具有相當(dāng)?shù)碾y度的,不過只要企業(yè)肯投入大批資金來研究,還是可以實現(xiàn)的。intel為研制和生產(chǎn)300毫米硅錠而建立的工廠耗費了大約35億美元,新技術(shù)的成功使得intel可以制造復(fù)雜程度更高,功能更強(qiáng)大的集成電路芯片。而200毫米硅錠的工廠也耗費了15億美元。

在制成硅錠并確保其是一個絕對的圓柱體之后,下一個步驟就是將這個圓柱體硅錠切片,切片越薄,用料越省,自然可以生產(chǎn)的處理器芯片就更多。切片還要鏡面精加工的處理來確保表面絕對光滑,之后檢查是否有扭曲或其它問題。這一步的質(zhì)量檢驗尤為重要,它直接決定了成品CPU的質(zhì)量。

新的切片中要摻入一些物質(zhì)而使之成為真正的半導(dǎo)體材料,而后在其上刻劃代表著各種邏輯功能的晶體管電路。摻入的物質(zhì)原子進(jìn)入硅原子之間的空隙,彼此之間發(fā)生原子力的作用,從而使得硅原料具有半導(dǎo)體的特性。今天的半導(dǎo)體制造多選擇CMOS工藝(互補型金屬氧化物半導(dǎo)體)。

其中互補一詞表示半導(dǎo)體中N型MOS管和P型MOS管之間的交互作用。而N和P在電子工藝中分別代表負(fù)極和正極。多數(shù)情況下,切片被摻入化學(xué)物質(zhì)而形成P型襯底,在其上刻劃的邏輯電路要遵循nMOS電路的特性來設(shè)計,這種類型的晶體管空間利用率更高也更加節(jié)能。同時在多數(shù)情況下,必須盡量限制pMOS型晶體管的出現(xiàn),因為在制造過程的后期,需要將N型材料植入P型襯底當(dāng)中,而這一過程會導(dǎo)致pMOS管的形成。

在摻入化學(xué)物質(zhì)的工作完成之后,標(biāo)準(zhǔn)的切片就完成了。然后將每一個切片放入高溫爐中加熱,通過控制加溫時間而使得切片表面生成一層二氧化硅膜。通過密切監(jiān)測溫度,空氣成分和加溫時間,該二氧化硅層的厚度是可以控制的。在intel的90納米制造工藝中,門氧化物的寬度小到了驚人的5個原子厚度。這一層門電路也是晶體管門電路的一部分,晶體管門電路的作用是控制其間電子的流動,通過對門電壓的控制,電子的流動被嚴(yán)格控制,而不論輸入輸出端口電壓的大小。

準(zhǔn)備工作的最后一道工序是在二氧化硅層上覆蓋一個感光層。這一層物質(zhì)用于同一層中的其它控制應(yīng)用。這層物質(zhì)在干燥時具有很好的感光效果,而且在光刻蝕過程結(jié)束之后,能夠通過化學(xué)方法將其溶解并除去。

光刻蝕

這是目前的CPU制造過程當(dāng)中工藝非常復(fù)雜的一個步驟,為什么這么說呢?光刻蝕過程就是使用一定波長的光在感光層中刻出相應(yīng)的刻痕,由此改變該處材料的化學(xué)特性。這項技術(shù)對于所用光的波長要求極為嚴(yán)格,需要使用短波長的紫外線和大曲率的透鏡??涛g過程還會受到晶圓上的污點的影響。每一步刻蝕都是一個復(fù)雜而精細(xì)的過程。

設(shè)計每一步過程的所需要的數(shù)據(jù)量都可以用10GB的單位來計量,而且制造每塊處理器所需要的刻蝕步驟都超過20步(每一步進(jìn)行一層刻蝕)。而且每一層刻蝕的圖紙如果放大許多倍的話,可以和整個紐約市外加郊區(qū)范圍的地圖相比,甚至還要復(fù)雜,試想一下,把整個紐約地圖縮小到實際面積大小只有100個平方毫米的芯片上,那么這個芯片的結(jié)構(gòu)有多么復(fù)雜,可想而知了吧。

當(dāng)這些刻蝕工作全部完成之后,晶圓被翻轉(zhuǎn)過來。短波長光線透過石英模板上鏤空的刻痕照射到晶圓的感光層上,然后撤掉光線和模板。通過化學(xué)方法除去暴露在外邊的感光層物質(zhì),而二氧化硅馬上在陋空位置的下方生成。

摻雜

在殘留的感光層物質(zhì)被去除之后,剩下的就是充滿的溝壑的二氧化硅層以及暴露出來的在該層下方的硅層。這一步之后,另一個二氧化硅層制作完成。然后,加入另一個帶有感光層的多晶硅層。多晶硅是門電路的另一種類型。由于此處使用到了金屬原料(因此稱作金屬氧化物半導(dǎo)體),多晶硅允許在晶體管隊列端口電壓起作用之前建立門電路。感光層同時還要被短波長光線透過掩??涛g。再經(jīng)過一部刻蝕,所需的全部門電路就已經(jīng)基本成型了。然后,要對暴露在外的硅層通過化學(xué)方式進(jìn)行離子轟擊,此處的目的是生成N溝道或P溝道。這個摻雜過程創(chuàng)建了全部的晶體管及彼此間的電路連接,沒個晶體管都有輸入端和輸出端,兩端之間被稱作端口。

重復(fù)這一過程

從這一步起,你將持續(xù)添加層級,加入一個二氧化硅層,然后光刻一次。重復(fù)這些步驟,然后就出現(xiàn)了一個多層立體架構(gòu),這就是你目前使用的處理器的萌芽狀態(tài)了。在每層之間采用金屬涂膜的技術(shù)進(jìn)行層間的導(dǎo)電連接。今天的P4處理器采用了7層金屬連接,而Athlon64使用了9層,所使用的層數(shù)取決于最初的版圖設(shè)計,并不直接代表著最終產(chǎn)品的性能差異。

測試封裝測試過程

接下來的幾個星期就需要對晶圓進(jìn)行一關(guān)接一關(guān)的測試,包括檢測晶圓的電學(xué)特性,看是否有邏輯錯誤,如果有,是在哪一層出現(xiàn)的等等。而后,晶圓上每一個出現(xiàn)問題的芯片單元將被單獨測試來確定該芯片有否特殊加工需要。

而后,整片的晶圓被切割成一個個獨立的處理器芯片單元。在最初測試中,那些檢測不合格的單元將被遺棄。這些被切割下來的芯片單元將被采用某種方式進(jìn)行封裝,這樣它就可以順利的插入某種接口規(guī)格的主板了。大多數(shù)intel和AMD的處理器都會被覆蓋一個散熱層。

在處理器成品完成之后,還要進(jìn)行全方位的芯片功能檢測。這一部會產(chǎn)生不同等級的產(chǎn)品,一些芯片的運行頻率相對較高,于是打上高頻率產(chǎn)品的名稱和編號,而那些運行頻率相對較低的芯片則加以改造,打上其它的低頻率型號。這就是不同市場定位的處理器。而還有一些處理器可能在芯片功能上有一些不足之處。比如它在緩存功能上有缺陷(這種缺陷足以導(dǎo)致絕大多數(shù)的CPU癱瘓),那么它們就會被屏蔽掉一些緩存容量,降低了性能,當(dāng)然也就降低了產(chǎn)品的售價,這就是Celeron和Sempron的由來。

當(dāng)CPU被放進(jìn)包裝盒之前,一般還要進(jìn)行最后一次測試,以確保之前的工作準(zhǔn)確無誤。根據(jù)前面確定的最高運行頻率不同,它們被放進(jìn)不同的包裝,銷往世界各地。

讀完這些,相信你已經(jīng)對CPU的制造流程有了一些比較深入的認(rèn)識。CPU的制造,可以說是集多方面尖端科學(xué)技術(shù)之大成,CPU本身也就那么點大,如果把里面的材料分開拿出來賣,恐怕賣不了幾個錢。然而CPU的制造成本是非常驚人的,從這里或許我們可以理解,為什么這東西賣這么貴了。

在測試這個環(huán)節(jié)很重要,比如你的處理器是6300還是6400就會在這個環(huán)節(jié)被劃分,而6300天生并不是6300,而是在測試之后,發(fā)現(xiàn)處理器不能穩(wěn)定的在6400標(biāo)準(zhǔn)下工作,只能在6300標(biāo)準(zhǔn)下穩(wěn)定工作,于是對處理器定義,鎖頻,定義ID,封裝,印上6300。

我們用AMD的來舉例

同樣核心的處理器都是一個生產(chǎn)線下來的,如果穩(wěn)定工作在2.8GHz,1M*2的緩存下,就被定義為5600+,如果緩存有瑕疵,切割有問題的那一半,成為5400+,如果緩存沒問題而頻率只能在2.6G通過測試,那么就是5200+,如果緩存有瑕疵,就切割成為5000+…………一直把它測到3800+,如果還不穩(wěn)定,要么想辦法變成速龍64單核或者單核閃龍,或者就是出現(xiàn)過的ES版的雙核閃龍,如果出現(xiàn)批量不能工作在3800+條件下,而工作在3600+條件下,那么3600+就上市了,如果出現(xiàn)批量能工作在3G,1M*2條件下,那么6000+就上市了,這就是為什么處理器總是中等型號的先上市,高端和底端的后上市,當(dāng)然后期工廠可能會節(jié)約成本專門開出底端的流水線,專門生產(chǎn)底端處理器,賽揚,閃龍的各種型號就相繼上市,而高端的流水線因為個別處理器不穩(wěn)定轉(zhuǎn)變?yōu)榈锥颂幚砥?,例如將速?4緩存切割就變?yōu)殚W龍64。

intel Core i7生產(chǎn)全過程圖解 沙子

硅是地殼內(nèi)第二豐富的元素,而脫氧后的沙子(尤其是石英)最多包含25%的硅元素,以二氧化硅(SiO2)的形式存在,這也是半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)。

硅熔煉

12英寸/300毫米晶圓級,下同。通過多步凈化得到可用于半導(dǎo)體制造質(zhì)量的硅,學(xué)名電子級硅(EGS),平均每一百萬個硅原子中最多只有一個雜質(zhì)原子。此圖展示了是如何通過硅凈化熔煉得到大晶體的,最后得到的就是硅錠(Ingot)。

單晶硅錠

整體基本呈圓柱形,重約100千克,硅純度99.9999%。

硅錠切割

橫向切割成圓形的單個硅片,也就是我們常說的晶圓(Wafer)。順便說,這下知道為什么晶圓都是圓形的了吧?

晶圓

切割出的晶圓經(jīng)過拋光后變得幾乎完美無瑕,表面甚至可以當(dāng)鏡子。事實上,Intel自己并不生產(chǎn)這種晶圓,而是從第三方半導(dǎo)體企業(yè)那里直接購買成品,然后利用自己的生產(chǎn)線進(jìn)一步加工,比如現(xiàn)在主流的45nmHKMG(高K金屬柵極)。值得一提的是,Intel公司創(chuàng)立之初使用的晶圓尺寸只有2英寸/50毫米。

光刻膠(PhotoResist)

圖中藍(lán)色部分就是在晶圓旋轉(zhuǎn)過程中澆上去的光刻膠液體,類似制作傳統(tǒng)膠片的那種。晶圓旋轉(zhuǎn)可以讓光刻膠鋪的非常薄、非常平。

光刻

光刻膠層隨后透過掩模(Mask)被曝光在紫外線(UV)之下,變得可溶,期間發(fā)生的化學(xué)反應(yīng)類似按下機(jī)械相機(jī)快門那一刻膠片的變化。掩模上印著預(yù)先設(shè)計好的電路圖案,紫外線透過它照在光刻膠層上,就會形成微處理器的每一層電路圖案。一般來說,在晶圓上得到的電路圖案是掩模上圖案的四分之一。

光刻

由此進(jìn)入50-200納米尺寸的晶體管級別。一塊晶圓上可以切割出數(shù)百個處理器,不過從這里開始把視野縮小到其中一個上,展示如何制作晶體管等部件。晶體管相當(dāng)于開關(guān),控制著電流的方向?,F(xiàn)在的晶體管已經(jīng)如此之小,一個針頭上就能放下大約3000萬個。

溶解光刻膠

光刻過程中曝光在紫外線下的光刻膠被溶解掉,清除后留下的圖案和掩模上的一致。

蝕刻

使用化學(xué)物質(zhì)溶解掉暴露出來的晶圓部分,而剩下的光刻膠保護(hù)著不應(yīng)該蝕刻的部分。

清除光刻膠

蝕刻完成后,光刻膠的使命宣告完成,全部清除后就可以看到設(shè)計好的電路圖案。

光刻膠

再次澆上光刻膠(藍(lán)色部分),然后光刻,并洗掉曝光的部分,剩下的光刻膠還是用來保護(hù)不會離子注入的那部分材料。

離子注入(IonImplantation)

在真空系統(tǒng)中,用經(jīng)過加速的、要摻雜的原子的離子照射(注入)固體材料,從而在被注入的區(qū)域形成特殊的注入層,并改變這些區(qū)域的硅的導(dǎo)電性。經(jīng)過電場加速后,注入的離子流的速度可以超過30萬千米每小時。

清除光刻膠

離子注入完成后,光刻膠也被清除,而注入?yún)^(qū)域(綠色部分)也已摻雜,注入了不同的原子。注意這時候的綠色和之前已經(jīng)有所不同。

晶體管就緒

至此,晶體管已經(jīng)基本完成。在絕緣材(品紅色)上蝕刻出三個孔洞,并填充銅,以便和其它晶體管互連。

電鍍

在晶圓上電鍍一層硫酸銅,將銅離子沉淀到晶體管上。銅離子會從正極(陽極)走向負(fù)極(陰極)。

銅層

電鍍完成后,銅離子沉積在晶圓表面,形成一個薄薄的銅層。

拋光

將多余的銅拋光掉,也就是磨光晶圓表面。

金屬層

晶體管級別,六個晶體管的組合,大約500納米。在不同晶體管之間形成復(fù)合互連金屬層,具體布局取決于相應(yīng)處理器所需要的不同功能性。芯片表面看起來異常平滑,但事實上可能包含20多層復(fù)雜的電路,放大之后可以看到極其復(fù)雜的電路網(wǎng)絡(luò),形如未來派的多層高速公路系統(tǒng)。

晶圓測試

內(nèi)核級別,大約10毫米/0.5英寸。圖中是晶圓的局部,正在接受第一次功能性測試,使用參考電路圖案和每一塊芯片進(jìn)行對比。

晶圓切片(Slicing)

晶圓級別,300毫米/12英寸。將晶圓切割成塊,每一塊就是一個處理器的內(nèi)核(Die)。

丟棄瑕疵內(nèi)核

晶圓級別。測試過程中發(fā)現(xiàn)的有瑕疵的內(nèi)核被拋棄,留下完好的準(zhǔn)備進(jìn)入下一步。

丟棄瑕疵內(nèi)核

晶圓級別。測試過程中發(fā)現(xiàn)的有瑕疵的內(nèi)核被拋棄,留下完好的準(zhǔn)備進(jìn)入下一步。

單個內(nèi)核

內(nèi)核級別。從晶圓上切割下來的單個內(nèi)核,這里展示的是Corei7的核心。

封裝

封裝級別,20毫米/1英寸。襯底(基片)、內(nèi)核、散熱片堆疊在一起,就形成了我們看到的處理器的樣子。襯底(綠色)相當(dāng)于一個底座,并為處理器內(nèi)核提供電氣與機(jī)械界面,便于與PC系統(tǒng)的其它部分交互。散熱片(銀色)就是負(fù)責(zé)內(nèi)核散熱的了。

等級測試

:最后一次測試,可以鑒別出每一顆處理器的關(guān)鍵特性,比如最高頻率、功耗、發(fā)熱量等,并決定處理器的等級,比如適合做成最高端的Corei7-975Extreme,還是低端型號Corei7-920。

裝箱

:根據(jù)等級測試結(jié)果將同樣級別的處理器放在一起裝運。

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