韓國企業(yè)成功開發(fā)高純度氟化氫正在測試、進(jìn)行進(jìn)度

日本對韓加強(qiáng)出口限制，造成許多半導(dǎo)體、顯示器原料出口困難，其中受政策影響的高純度氟化氫，近期韓國企業(yè)SoulBrain、SK Materials已相繼發(fā)表成果，明年初有望見到成果。

制造半導(dǎo)體的核心材料－氟化氫，大致可區(qū)分成液體、氣體兩種。液體氟化氫方面，韓國企業(yè)大致有兩種方式可以取得，一種是由SoulBrain等韓國企業(yè)從中國取得原料（無水氫氟酸），進(jìn)行提煉后供貨，另一種則是直接從日本Stella、森田化學(xué)取得。

但氣體氟化氫不論制造技術(shù)、保存都比液態(tài)要困難，韓國2012、2013年接連在龜尾市、三星電子華城工廠發(fā)生氟化氫外泄事故，不僅爆炸風(fēng)險高，管理上也較困難，目前百分之百從日本昭和電工進(jìn)口。

據(jù)《朝鮮日報》報道，韓國半導(dǎo)體、顯示器材料公司SoulBrain副社長樸英植（音譯）在受訪時表示，SoulBrain擁有多年累積的技術(shù)、經(jīng)驗為基礎(chǔ)，能提供99.999％以上的高純度氟化氫。外界期待，韓國能夠盡快國產(chǎn)化高純度氟化氫。

不僅SoulBrain能制造氣體氟化氫，半導(dǎo)體、LCD特殊氣體制造公司SK Mertirials也發(fā)出捷報，外界預(yù)期，明年初將能見到初步成果。SK Mertials于上個月27日表示，通過1、2年的研究，已經(jīng)研發(fā)出高純度氟化氫的制造技術(shù)，年底有望進(jìn)入生產(chǎn)階段。三星電子、SK海力士考慮在今年內(nèi)開始測試產(chǎn)品，與此同時，三星電子已經(jīng)開始測試中國制造的高純度氟化氫。

三星電子、SK海力士相關(guān)人士對此表示，雖然正在努力將供應(yīng)鏈分散，但現(xiàn)在還無法透露哪些企業(yè)的產(chǎn)品正在測試、進(jìn)行進(jìn)度。

目前業(yè)界擔(dān)憂的是－國產(chǎn)原料的質(zhì)量。半導(dǎo)體材料企業(yè)Mecaro社長李鍾洙（音譯）表示，替換半導(dǎo)體制程原料、零件時，是否會影響最終成品、影響前后制程都需要長時間的驗證，雖然能夠壓縮這些時間，但國產(chǎn)化仍是長期需要關(guān)注的議題。

另一方面，日本出口管制政策已出臺超過一個月，日本原料企業(yè)也祭出自救方案。據(jù)《日經(jīng)新聞》報道，森田化學(xué)工業(yè)計劃，若韓國企業(yè)提出要求，將把在中國生產(chǎn)的高純度氟化氫提供給韓國。該工廠最初是為中國半導(dǎo)體企業(yè)、三星電子在中國的工廠而設(shè)，但近期因日本制策限制，日本企業(yè)很難從日本總公司出口產(chǎn)品至韓國，近期企圖通過中國工廠供貨給韓國。

森田化學(xué)工業(yè)社長森田康夫受訪時表示，在日本強(qiáng)化出口管理的情況下，日本企業(yè)的市占率可能會因此下滑，未來日韓若出現(xiàn)類似狀況，中國工廠就能代替日本向韓國出貨。