中微半導(dǎo)體5nm蝕刻機(jī)進(jìn)入5nm供應(yīng)鏈 已成功取得5nm邏輯電路及64層3DNAND制造廠的訂單

中微半導(dǎo)體是一家國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備供應(yīng)商，7月底作為科創(chuàng)板首批公司上市。日前中微半導(dǎo)體發(fā)表了2019年上半年財(cái)報(bào)，1-6月實(shí)現(xiàn)營收8.01億元，同比增長72.03%；歸屬于上市公司股東的凈利潤3037.11萬元，與上年同期相比扭虧為盈。

除了財(cái)報(bào)信息，中微半導(dǎo)體還公布了該公司產(chǎn)品的最新進(jìn)展，其中等離子體刻蝕設(shè)備已在國際一線客戶從65nm到14nm、7nm和5nm的集成電路加工制造及先進(jìn)封裝中有具體應(yīng)用。

此外，中微半導(dǎo)體的MOCVD（化學(xué)氣相沉積（）設(shè)備在行業(yè)領(lǐng)先客戶的生產(chǎn)線上大規(guī)模投入量產(chǎn)，公司已成為世界排名前列、國內(nèi)占領(lǐng)先地位的氮化鎵基LED設(shè)備制造商。

中微半導(dǎo)體表示，今年上半年，中微公司刻蝕設(shè)備產(chǎn)品保持競爭優(yōu)勢(shì)，批量應(yīng)用于國內(nèi)外一線客戶的集成電路加工制造。此外，公司已成功取得5nm邏輯電路、64層3D NAND制造廠的訂單。

在驗(yàn)證順利的情況下，公司將緊跟客戶的生產(chǎn)計(jì)劃、量產(chǎn)需求有序制定生產(chǎn)計(jì)劃。

中微半導(dǎo)體的主力產(chǎn)品就是蝕刻機(jī)，這也是半導(dǎo)體制造中最重要的設(shè)備之一，用來在芯片上進(jìn)行微觀雕刻，每個(gè)線條和深孔的加工精度都是頭發(fā)絲直徑的幾千分之一到上萬分之一，精度控制要求非常高。

中微所說的5nm蝕刻機(jī)進(jìn)入5nm供應(yīng)鏈也不讓人意外，實(shí)際上該公司去年就發(fā)布了相關(guān)消息了，旗下的蝕刻機(jī)已經(jīng)獲得了臺(tái)積電的認(rèn)證，后者的5nm生產(chǎn)線上就會(huì)使用中微公司的蝕刻機(jī)。