Gigaphoton將于2020年引進新型ArF浸沒式激光器

半導(dǎo)體光刻光源制造商Gigaphoton株式會社宣布，2020年將增加全新產(chǎn)品，其中包括采用新技術(shù)的最新半導(dǎo)體制造光刻光源ArF浸沒式激光器“GT66A”以及KrF激光器“G60K”這2種機型。

配備加快技術(shù)轉(zhuǎn)移的新技術(shù)

半導(dǎo)體光刻光源制造商Gigaphoton株式會社（總部：栃木縣小山市、董事長兼總經(jīng)理：浦中克己）宣布，2020年將增加全新產(chǎn)品，其中包括采用新技術(shù)的最新半導(dǎo)體制造光刻光源ArF浸沒式激光器“GT66A”以及KrF激光器“G60K”這2種機型。

隨著近年來IoT的普及以及AI的實際運用，半導(dǎo)體用途不斷擴大，從而要求半導(dǎo)體芯片需要進一步加快通信速度，實現(xiàn)更大數(shù)量的數(shù)據(jù)處理。尤其在2020年，5G（第5代移動通信）開始面向普通人群提供服務(wù)，因此需要10nm以下節(jié)點的小型、高速、低功耗邏輯IC以及用于存儲爆炸性增長數(shù)據(jù)的大容量存儲芯片。

新型ArF浸沒式激光器“GT66A”配備了新開發(fā)的光學(xué)模塊，成功降低了空間相干，并改善了曝光面的光束均勻性。新型KrF用激光器“G60K”進行了時隔約15年的全型號變更，通過引進新型電源單元，實現(xiàn)了以往1.5倍的輸出。Gigaphoton通過這些新技術(shù)為芯片制造商提供支持。

Gigaphoton董事長兼總經(jīng)理浦中克己表示：“隨著引進IoT的產(chǎn)業(yè)設(shè)備及家電的普及，配合AI與5G，同時推動工廠、醫(yī)療、汽車、社會基礎(chǔ)設(shè)施等多個領(lǐng)域的實時化以及智能化。我們將通過配備新技術(shù)的新產(chǎn)品線，為新一代產(chǎn)業(yè)界的發(fā)展做出貢獻。”