IT之家3月6日消息 據(jù)中國證券報(bào)報(bào)道,3月6日下午從中芯國際獲悉,日前中芯國際深圳工廠從荷蘭進(jìn)口了一臺(tái)大型光刻機(jī),但這是設(shè)備正常導(dǎo)入,用于產(chǎn)能擴(kuò)充,并非外界所稱的EUV光刻機(jī)。
IT之家今天早些時(shí)候報(bào)道,3月4日早上8點(diǎn)不到,中芯國際集成電路制造(深圳)有限公司從從荷蘭進(jìn)口的一臺(tái)大型光刻機(jī)順利通過出口加工區(qū)場站兩道閘口進(jìn)入廠區(qū),這臺(tái)機(jī)器主要用于企業(yè)復(fù)工復(fù)產(chǎn)后的生產(chǎn)線擴(kuò)容。
據(jù)IT之家獲悉,EUV光刻機(jī)主要用于7nm及以下制程。中芯國際目前量產(chǎn)的最先進(jìn)制程為第一代FinFET 14nm,已貢獻(xiàn)2019年第四季度1%營收。
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