我國光刻機(jī)技術(shù)處于一個(gè)什么水平，未來發(fā)展將會(huì)何如

（文章來源：科技晴）

我國的光刻機(jī)目前能做的只有90nm制程，而荷蘭的ASML 最新EUV工藝光刻機(jī)可以做到7nm制程、6nm制程、5nm制程，并且一臺(tái)頂級(jí)的光刻機(jī)需要上萬個(gè)零部件，需要不同國家的各個(gè)頂級(jí)部件，售價(jià)也高達(dá)7億人民幣。我們國家技術(shù)差就差在沒有得到各個(gè)公司的頂級(jí)技術(shù)支持，以及國外對于光刻機(jī)關(guān)鍵部件的封鎖?？赐暌韵潞商mASML光刻機(jī)為什么能夠成功，就可以知道我們究竟差在哪里。

荷蘭ASML公司是目前全球頂級(jí)光刻機(jī)的扛把子，雖然說尼康(Nikon)和佳能(Canon) 也能夠提供商用的光刻機(jī)，但它們與ASML光刻機(jī)市場占有率相比還是差非常多，ASML占據(jù)了全球80%以上的份額。

制造光刻機(jī)所需要的鏡片、光柵都是由德國和美國提供，這兩樣?xùn)|西對我們國家來說都是禁止銷售的，也就是我們有錢也不可能買的到。我們就以德國蔡司公司提供的鏡頭來說，據(jù)說這個(gè)工廠祖孫三代從事同一個(gè)職位，制造鏡頭技術(shù)根本不外傳，鏡片材質(zhì)要做到均勻，需幾十年到上百十年技術(shù)積淀。

再加之荷蘭ASML公司有一個(gè)模式，那就是只有投資它的公司才能夠優(yōu)先得到他們的頂級(jí)光刻機(jī)。例如蔡司就是投資了ASML，占據(jù)了它超過20%的股份。這些公司不單單投資它，也給它提供最新的技術(shù)，這樣它就不是孤軍奮戰(zhàn)狀態(tài)，做到了技術(shù)分工。像三星、英特爾、臺(tái)積電都對它有一定的投資，才能夠優(yōu)先獲得它的最先頂級(jí)的光刻機(jī)。

荷蘭雖然是一個(gè)小國家，但它對知識(shí)產(chǎn)權(quán)特別的重視，這讓ASML有很多自己的知識(shí)技術(shù)產(chǎn)權(quán)。一旦它擁有了這個(gè)產(chǎn)權(quán)，別人是不能夠再使用，使用需要繳納一定費(fèi)用，這也就自然成就了ASML全球霸主的地位。根據(jù)WTO公布的數(shù)據(jù)，近十年來，全球知識(shí)產(chǎn)權(quán)使用費(fèi)出口排名中，荷蘭（僅包括五年的數(shù)據(jù)）達(dá)到2392億美元，僅次于美國和日本，超過英國，法國，德國等歐洲大國。

我們都知道華為投資超級(jí)多才造就了如今的海思麒麟處理器，而ASML的頂級(jí)光刻機(jī)也是一樣。在2019年 荷蘭ASML公司全球銷售額大概是21億歐元左右，它拿出了4.8億歐元進(jìn)行技術(shù)研發(fā)，研發(fā)費(fèi)用占營收的比例達(dá)到22.8%。因此它的成功不是偶然，是必然。

我們國家的光刻機(jī)主要是以上海微電子設(shè)備研究所的為主，它做的是國內(nèi)比較先進(jìn)的了，它的SMEE200系列光刻機(jī)只有90nm。其它的就更不能提了，例如合肥芯碩半導(dǎo)體公司都只能夠擁有200nm工藝。當(dāng)時(shí)上海微電子的總經(jīng)理去德國考察時(shí)，人家曾經(jīng)明確的說，就算我們給你們?nèi)椎膱D紙，你們也不可能做出來我們這種光刻機(jī)。

它之所以能夠說出這種話，也不是對我們的一種鄙視，而就是現(xiàn)實(shí)。因?yàn)檫@個(gè)光刻機(jī)堪稱人類智慧集大成的產(chǎn)物，它被稱為現(xiàn)代光學(xué)工業(yè)之花。曾經(jīng)有人這樣形容它的工作過程，就像坐在一架超音速飛行的飛機(jī)上時(shí)，拿著線頭穿進(jìn)另一架飛機(jī)上的針孔。

雖然最近不斷的有好消息，例如2018時(shí)中科院的“超分辨光刻裝備研制”通過驗(yàn)收，它的光刻分辨力達(dá)到22nm，結(jié)合雙重曝光技術(shù)后，未來還可用于制造10nm級(jí)別的芯片。但是與ASML比起來還是差很遠(yuǎn)，并且它是處于實(shí)驗(yàn)室階段，想要真正商業(yè)化使用還是需要一段時(shí)間。而反觀現(xiàn)在的ASML，它的EUV光刻機(jī)，已經(jīng)可以達(dá)到7nm，甚至5nm。因此我們的光刻機(jī)還處于不利地位，需要很長一段路要走。

通過以上的介紹大家就可以知道我們與他們究竟差在哪里，這并不能說我們不行。而是因?yàn)檫@個(gè)東西需要的部件太多了，也需要不同企業(yè)頂尖技術(shù)支持，只有把它們頂級(jí)技術(shù)進(jìn)行整合才能夠做出頂級(jí)光刻機(jī)。而我們現(xiàn)在是肯定不行的，因?yàn)槊绹?、歐盟對光刻機(jī)關(guān)鍵部件、技術(shù)都是嚴(yán)格封鎖，有再多的錢都不一定會(huì)出售。我們差就差在沒有整個(gè)行業(yè)頂級(jí)技術(shù)支持，以及先進(jìn)的鏡片支持。

我們要做的仍然是不斷加大研發(fā)投入，就像海思麒麟處理器一樣，只有不斷投入研發(fā)，技術(shù)積累，各個(gè)行業(yè)緊密合作幫助才能夠做出頂級(jí)光刻機(jī)。2G、3G、4G一直落后于人，5G我們做到了領(lǐng)先。雖然我們現(xiàn)在光刻機(jī)很弱，但是相信經(jīng)過一段時(shí)間技術(shù)積累，我們?nèi)耘f可以做到領(lǐng)先，未來可期。
（責(zé)任編輯：fqj）