一、準(zhǔn)備本次測試的DUT和相應(yīng)的探針與電纜,將相應(yīng)的探針擺放完畢,佩戴相應(yīng)的手套、防靜電手環(huán)等。
二、確認(rèn)打開壓縮空氣、真空、電源等廠務(wù)后,按下白色電源鍵開機(jī)。待主機(jī)啟動完畢后預(yù)熱1-2分鐘,按下藍(lán)色的reset按鈕。
三、打開軟件進(jìn)入操作界面。
四、初始化:選擇一種模式做初始化。
五、打開探針臺屏蔽室的艙門,放wafer:把wafer放在chuck上,然后點(diǎn)擊真空開關(guān)或點(diǎn)“start”按鈕自動選擇吸附wafer的尺寸。
六、設(shè)置扎針高度(contact值): 操縱面板上長按ENABLE Z-AXIS 然后按Z-up把chuck升到一定高度(做這個動作之前建議把探針調(diào)到最高防止撞針)。然后調(diào)節(jié)camera的Z軸和適應(yīng)自己的顯微鏡倍率把圖像調(diào)節(jié)清晰(如果是電動顯微鏡支架,請在機(jī)臺面板上選擇顯微鏡后再調(diào)節(jié)Z軸高低)。
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