為什么只有ASML才能制造出頂級光刻機，其技術難度有多高

（文章來源：網絡整理）
大家都知道，目前我國光刻機技術至少落后荷蘭ASML15年，目前荷蘭ASML的頂級光刻機可以達到7nm工藝，目前他們正大研發(fā)5nm工藝光刻機；而中國目前能夠量產的光刻機是90nm的工藝，差了10幾倍，光刻機制造真的有這么難嗎？

光刻設備是一種投影曝光系統(tǒng)，由紫外光源、光學鏡片、對準系統(tǒng)等部件組裝而成。在芯片制造過程中，通過投射光束，穿過印著圖案的掩模及光學鏡片，將線路圖曝光在帶有光感涂層的硅晶圓上；然后通過蝕刻曝光等等步驟，形成芯片；這里有幾個重要的因素：光源，鏡頭，對準系統(tǒng)等等。制造這么高精端的光刻機，它有著：德國蔡司供應的鏡頭；在光源設備上美國公司的供貨；而且大量來自于海力士也不斷向ASML提供技術支持；這么多技術廠商的支持，加上ASML本身的組裝技術，所以ASML能夠一直位于世界第一，生產的光刻機也是最頂級的。

光刻機技術是世界上最尖端的技術之一，只有很少的國家掌握，所以光刻機是非常昂貴的，一臺高端的光刻機可以賣到1.2億美元左右，目前全球最貴的光刻機是：EUV光刻機，單臺售價超過1.2億美元，雖然賣這么貴，但還是供不應求，很多EUV光刻機訂單都是排隊生產，甚至有部分國家就算給再多的錢也買不到。

目前ASML是全球唯一能夠達到7納米精度光刻機的提供商，所以說ASML是全球芯片業(yè)真正的超級霸主一點都不過分。

目前在全球45納米以下高端光刻機市場當，荷蘭ASML也占了80%以上，而且這個占比每的還在持續(xù)增長，目前全球知名芯片廠商包括英特爾、三星、臺積電、SK海力士、聯(lián)電、格芯、中芯國際、華虹宏力、華力微等等全球一線公司都是ASML的客戶。雖然ASML是一家荷蘭公司，但他背后卻有著歐盟以及美國的力量，多關鍵技術都由美國以及歐盟國家提供。比如德國先進的機械工藝以及世界級的蔡司鏡頭，再加上美國提供的光源，這就使得ASML公司在光科技術方面飛速發(fā)展，幾乎到達了無人能敵的境地。

因為背后有美國的力量，所以ASML一直以來都禁止向中國出口高端光刻機，直到2018年這一情況才有所轉機，2018年ASML同意向中國出口兩臺7納米的高端光刻機，預計2019年交貨。

那ASML為什么反常的同意向中國出口高端光刻機呢？，一因為中國在光刻機的一些關鍵技術上已經取得了突破，目前中國已經成功研制出22nm超分辨的光刻機，可以生產14nm工藝的芯片，雖然和ASML的7nm工藝還有不小的差距，但我們一直在努力 ，相信不久將來，我們會在光刻機技術上達到世界頂級水平。
（責任編輯：fqj）