6英寸MEMS半導(dǎo)體傳感器芯片生產(chǎn)線正式投入運(yùn)營

隨著生物醫(yī)療、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、5G網(wǎng)絡(luò)等新興信息技術(shù)發(fā)展，傳統(tǒng)制造業(yè)將會借助于新技術(shù)進(jìn)一步轉(zhuǎn)型升級。MEMS半導(dǎo)體傳感器芯片在智能物聯(lián)網(wǎng)時代中起到核心作用，智能傳感器產(chǎn)業(yè)已成為推進(jìn)傳統(tǒng)工業(yè)轉(zhuǎn)型升級的關(guān)鍵，這對粵港澳大灣區(qū)、乃至我國的經(jīng)濟(jì)發(fā)展、產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化具有重大的戰(zhàn)略意義。

據(jù)麥姆斯咨詢了解，廣州奧松電子有限公司6英寸MEMS半導(dǎo)體傳感器芯片生產(chǎn)線正式投入運(yùn)營，成功量產(chǎn)出溫濕度、流量、氣體、差壓、風(fēng)速等傳感器芯片，并為部分珠三角客戶提供MEMS半導(dǎo)體芯片代工服務(wù)。該生產(chǎn)線的建成投產(chǎn)標(biāo)志奧松電子成為華南地區(qū)領(lǐng)先的MEMS半導(dǎo)體傳感器芯片生產(chǎn)基地，推動國內(nèi)、特別是粵港澳大灣區(qū)的MEMS半導(dǎo)體傳感器高質(zhì)量發(fā)展奠定了良好的基礎(chǔ)。

奧松電子斥巨資打造MEMS半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線，一期工程凈化車間總面積約2500平方米，配置濕法清洗區(qū)、百級潔凈度光刻區(qū)、千級潔凈度鍍膜區(qū)、千級潔凈度刻蝕區(qū)、千級潔凈度離子注入?yún)^(qū)及參觀通道等。整個潔凈車間安裝了多套高性能風(fēng)淋系統(tǒng)，對進(jìn)入潔凈間的員工或者貨物進(jìn)行徹底風(fēng)淋除塵。

該生產(chǎn)線一期工程于2019年3月立項(xiàng)，2019年6月正式進(jìn)入施工階段。經(jīng)過6個月的施工，生產(chǎn)線的基礎(chǔ)設(shè)施已安裝完成。2020年，多臺步進(jìn)式投影光刻機(jī)、雙面光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)、深硅刻蝕機(jī)、大束流離子注入機(jī)、PECVD、LPCVD、氧化爐、磁控濺射機(jī)、探針臺、應(yīng)力測試儀、全自動RCA清洗機(jī)等先進(jìn)的自動化生產(chǎn)設(shè)備搬入，生產(chǎn)線正式投入運(yùn)營。

奧松電子MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線一期工程為500納米MEMS半導(dǎo)體工藝制程，生產(chǎn)設(shè)備約占整個投資規(guī)模的70%。一期工程已成功量產(chǎn)出溫濕度傳感器、空氣質(zhì)量傳感器、氣體傳感器、流量傳感器、差壓傳感器等多款優(yōu)質(zhì)的芯片產(chǎn)品。根據(jù)規(guī)劃，2021年二期工程將建成350納米制程工藝MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線；2022年三期工程將建成180納米制程工藝MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線；總項(xiàng)目全部建成投產(chǎn)后，每月流片規(guī)模將達(dá)到4萬片，滿足奧松電子自身需求及粵港澳大灣區(qū)各類MEMS半導(dǎo)體芯片的代工需求。

隨著物聯(lián)網(wǎng)時代的到來，珠三角經(jīng)濟(jì)區(qū)作為中國最重要的制造基地之一，一直走在時代的前列?！痘浉郯拇鬄硡^(qū)發(fā)展規(guī)劃綱要》政策落實(shí)后，廣州作為廣東省省會城市和經(jīng)濟(jì)中心、一帶一路新亞歐大陸經(jīng)濟(jì)走廊主要節(jié)點(diǎn)城市和海上合作戰(zhàn)略支點(diǎn)，優(yōu)勢地位不斷得到提升。奧松電子立足廣州，在MEMS半導(dǎo)體傳感器領(lǐng)域打破了國外企業(yè)的壟斷，實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代進(jìn)口，勇?lián)鷼v史使命，為粵港澳大灣區(qū)建設(shè)貢獻(xiàn)自己的一份力量。