美國(guó)將光刻技術(shù)納入出口限制清單

日前，美國(guó)商務(wù)部工業(yè)安全局（BIS）在其官方網(wǎng)站發(fā)文表示，將六項(xiàng)新興技術(shù)添加到《出口管理?xiàng)l例》（EAR）的商務(wù)管部管制清單（CCL）中。美國(guó)商務(wù)部在官網(wǎng)發(fā)文表示，此舉是為了支持關(guān)鍵及新興技術(shù)這一國(guó)家戰(zhàn)略。

目前受到出口管制的新興技術(shù)總數(shù)已經(jīng)達(dá)到了 37 項(xiàng)。

商務(wù)部長(zhǎng)威爾伯·羅斯（Wilbur Ross）宣稱：“關(guān)鍵技術(shù)和新興技術(shù)國(guó)家戰(zhàn)略是保護(hù)美國(guó)國(guó)家安全，確保美國(guó)在軍事、情報(bào)和經(jīng)濟(jì)事務(wù)中保持技術(shù)領(lǐng)先地位的重要戰(zhàn)略部署?！薄懊绹?guó)商務(wù)部已經(jīng)對(duì) 30 多種新興技術(shù)的出口實(shí)施了管控，我們將繼續(xù)評(píng)估和確定未來還有哪些技術(shù)需要管控?！?/p>

徹底封鎖芯片先進(jìn)制造工藝

最新的商業(yè)管制是依據(jù) 2019 年 12 月全體大會(huì)上達(dá)成的協(xié)議——《常規(guī)軍備和兩用物品及技術(shù)出口管制瓦森納協(xié)議》實(shí)施的。制定和實(shí)施對(duì)新興技術(shù)的多邊控制符合《2018 年出口控制改革法案》（ECRA）的要求，這樣能夠確定哪些新興和基礎(chǔ)性技術(shù)對(duì)美國(guó)國(guó)家安全起到至關(guān)重要的作用。

本次新上榜商業(yè)管制清單的六項(xiàng)新興技術(shù)為：

混合增材制造/計(jì)算機(jī)數(shù)控工具；

特定的計(jì)算光刻軟件；

用于為5nm生產(chǎn)精加工晶圓的某些技術(shù)；

有限的數(shù)字取證分析工具；

用于監(jiān)測(cè)電信服務(wù)通信的某些軟件

亞軌道航天器

美國(guó)實(shí)施出口管制的六大技術(shù)，都與芯片制造中最重要的設(shè)備光刻機(jī)息息相關(guān)，尤其是當(dāng)下5nm芯片已成為高端芯片時(shí)代的主流產(chǎn)品，EUV光刻機(jī)的重要性可想而知。

“用于制造極紫外線掩模的計(jì)算光刻技術(shù)軟件”涵蓋EUV光刻所需的特定軟件，包括與三維（3D）效應(yīng)、掩模陰影效應(yīng)、光照方向效應(yīng)、遠(yuǎn)距離眩光效應(yīng)、鄰近效應(yīng)、抗蝕劑中的隨機(jī)性效應(yīng)以及源掩模優(yōu)化有關(guān)的軟件，這類軟件是在晶圓上做出經(jīng)過優(yōu)化的光刻膠圖案必需的軟件；

而“用于為 5nm 生產(chǎn)精加工芯片的技術(shù)”旨在應(yīng)用于面向5nm生產(chǎn)的晶圓，包括對(duì)直徑300 mm的硅晶圓進(jìn)行切片、打磨和拋光以達(dá)到某些標(biāo)準(zhǔn)所需要的技術(shù)，以及盡量減小平坦度（或SFQR）和表面缺陷的技術(shù)以及局部光散射體（LLS）。以上兩類技術(shù)都受到國(guó)家安全和反恐管制的約束。

目前全世界唯一能生產(chǎn)EUV光刻機(jī)的企業(yè)只有荷蘭ASML公司，而ASML最大的兩大股東資本國(guó)際集團(tuán)（MSCI）和貝萊德集團(tuán)（BlackRock， Inc．）都是美國(guó)公司，其用于打造EUV光刻機(jī)的高精技術(shù)也有不少為美國(guó)所持有。

美國(guó)商務(wù)部此舉相當(dāng)于直接封鎖了高端芯片的制造技術(shù)，針對(duì)的是誰(shuí)不用多說。從目前來看，中國(guó)作為美國(guó)芯片產(chǎn)品最大的采購(gòu)國(guó)之一，受出口管制影響是巨大的。

這是 BIS 自 2018 年通過 ECRA 法令以來實(shí)施的第四套新興技術(shù)管控措施。BIS 在此之前曾公布了三份聯(lián)邦文件通知，對(duì)航空航天、生物技術(shù)、化學(xué)、電子、加密、地理空間圖像和海洋領(lǐng)域的 31 項(xiàng)新興技術(shù)實(shí)施了管制，其中大多數(shù)是在多邊支持下實(shí)施的。其中包括因化學(xué) / 生物和反恐理由而受管制的 24 種化學(xué)武器前體，以及：

1、離散微波晶體管

2、操作軟件的連續(xù)性

3、Post-quantum 密碼學(xué)

4、用作水中聽音器的水下傳感器

5、空中發(fā)射平臺(tái)

6、地理空間圖像軟件（單側(cè)）

7、一次性生物栽培室

受新管制影響最大的幾個(gè)行業(yè)是航空航天、生物技術(shù)、化學(xué)、電子、加密、地理空間圖像和海洋行業(yè)。正如BIS所承諾的那樣，新興技術(shù)是加以嚴(yán)格定義的，幾乎都受到多邊管制的約束。

此外，根據(jù) ECRA 規(guī)定，商務(wù)部工業(yè)安全局已于 2020 年 8 月 27 日就基礎(chǔ)技術(shù)鑒定征求公眾意見，公眾意見征詢期將持續(xù)到 2020 年 11 月 9 日，這也就意味著，未來或許還會(huì)有更多新興和關(guān)鍵技術(shù)被列入出口管制清單。

受管制新興技術(shù)具體解釋

如下所述，該規(guī)則將一個(gè)新的出口管制分類編號(hào)(ECCN)添加到CCL，并修訂了另外五個(gè)ECCN。

混合增材制造(AM)/計(jì)算機(jī)數(shù)控(CNC)工具受ECCN 2B001管制。該規(guī)則闡明，除車削、銑削或磨削能力外還擁有增材制造能力的機(jī)床適用于ECCN 2B001。因此，即使增材制造能力添加到設(shè)備中，歸類為ECCN 2B001的機(jī)床仍可能歸類為該ECCN。該規(guī)則不管制一般的增材制造設(shè)備。ECCN 2B001的產(chǎn)品受到國(guó)家安全、核不擴(kuò)散和反恐管制的約束。

為制造極紫外(EUV)掩模而設(shè)計(jì)的計(jì)算光刻軟件添加到ECCN 3D003：ECCN 3D003已擴(kuò)大范圍，涵蓋EUV光刻所需的特定軟件，包括與三維(3D)效應(yīng)、掩模陰影效應(yīng)、光照方向效應(yīng)、遠(yuǎn)距離眩光效應(yīng)、鄰近效應(yīng)、抗蝕劑中的隨機(jī)性效應(yīng)以及源掩模優(yōu)化有關(guān)的軟件。這類軟件是晶圓上做出經(jīng)過優(yōu)化的光刻膠圖案所需的，受到國(guó)家安全和反恐管制的約束。

用于為5nm生產(chǎn)精加工晶圓的技術(shù)受新的ECCN 3E004的管制：該規(guī)則為CCL添加了ECCN 3E004;ECCN 3E004管制用于生產(chǎn)高端集成電路基板的技術(shù)，它們旨在應(yīng)用于面向5 nm生產(chǎn)的晶圓。受管制技術(shù)包括：對(duì)直徑300 mm的硅晶圓進(jìn)行切片、打磨和拋光以達(dá)到某些標(biāo)準(zhǔn)所需要的技術(shù)，以及盡量減小平坦度(或SFQR)和表面缺陷的技術(shù)以及局部光散射體(LLS)。這些技術(shù)受到國(guó)家安全和反恐管制的約束。

可以規(guī)避計(jì)算機(jī)(或通信設(shè)備)方面的身份驗(yàn)證或授權(quán)控制措施，并提取原始數(shù)據(jù)的數(shù)字取證分析工具添加到ECCN 5A004中：BIS擴(kuò)大了ECCN 5A004的范圍，以管制可以迅速分析設(shè)備并恢復(fù)受保護(hù)信息的硬件，包括通過破解、操縱、利用及/或繞過制造商安裝在設(shè)備上的安全措施。這項(xiàng)新的ECCN即5A004.b并非旨在管制提取設(shè)備上不受保護(hù)的數(shù)據(jù)的產(chǎn)品、生產(chǎn)或測(cè)試設(shè)備、系統(tǒng)管理工具或用于零售用途(比如解鎖手機(jī))的工具。相應(yīng)的軟件管制已添加到5D002。這些產(chǎn)品受到國(guó)家安全和反恐管制的約束。

用于通過偵聽接口來監(jiān)測(cè)和分析從電信服務(wù)提供商處獲得的通信和元數(shù)據(jù)的軟件添加到ECCN 5D001：BIS添加了ECCN 5D001.e，這涵蓋專門經(jīng)過設(shè)計(jì)或修改，供執(zhí)法部門用于分析從偵聽接口獲取的通信內(nèi)容或元數(shù)據(jù)。該軟件必須提供以下兩種功能：1)基于硬選擇器，使用“偵聽接口”對(duì)從通信服務(wù)提供商獲取的通信內(nèi)容或元數(shù)據(jù)執(zhí)行搜索;以及2)根據(jù)搜索通信內(nèi)容或元數(shù)據(jù)的結(jié)果，映射關(guān)系網(wǎng)絡(luò)或跟蹤針對(duì)性個(gè)人的活動(dòng)。這項(xiàng)新內(nèi)容并不管制網(wǎng)絡(luò)管理工具或銀行軟件。軟件受到國(guó)家安全和反恐管制的約束。

亞軌道飛行器添加到ECCN 9A004.h：BIS已將亞軌道飛行器添加到了以前應(yīng)用于CCL第9類中的太空發(fā)射器和“航天器”的管制。亞軌道飛行器旨在在平流層上方運(yùn)行，不完成軌道就降落在地球上。因此，它并不符合“航天器”的定義，“航天器”僅限于衛(wèi)星和太空探測(cè)器。飛行器受到國(guó)家安全、區(qū)域穩(wěn)定和反恐管制的約束。

中國(guó)出臺(tái)出口管制法

中國(guó)方面，《中華人民共和國(guó)出口管制法》已由第十三屆全國(guó)人民代表大會(huì)常務(wù)委員會(huì)第二十二次會(huì)議于2020年10月17日通過，并從2020年12月1日起施行，中國(guó)管制法實(shí)行引發(fā)了外國(guó)媒體的密切關(guān)注。在管制法中，中國(guó)除了將核材料等納入管制范圍內(nèi)，其他一些維護(hù)中國(guó)國(guó)家安全等貨物也納入其中。

該法規(guī)定，任何國(guó)家或者地區(qū)濫用出口管制措施危害中國(guó)國(guó)家安全和利益的，中國(guó)可以根據(jù)實(shí)際情況對(duì)該國(guó)家或者地區(qū)對(duì)等采取措施。

出口管制是指對(duì)特定物項(xiàng)的出口采取禁止或者限制性措施，以對(duì)該物項(xiàng)的使用主體或者用途進(jìn)行控制。實(shí)施出口管制，是國(guó)際通行的履行防擴(kuò)散等國(guó)際義務(wù)的做法。當(dāng)下，出口管制正成為維護(hù)國(guó)家安全和利益的重要手段。

出口管制法包括總則，管制政策、管制清單和管制措施，監(jiān)督管理，法律責(zé)任，附則五章，共49條。

該法明確了出口管制范圍，確保管制物項(xiàng)、管制主體和行為全覆蓋，規(guī)定：從中國(guó)境內(nèi)向境外轉(zhuǎn)移管制物項(xiàng)，以及中國(guó)公民、法人和非法人組織向外國(guó)組織和個(gè)人提供管制物項(xiàng)，均受本法約束。

據(jù)報(bào)道，美國(guó)近年來將注意力放在提高國(guó)家地位以及打壓其他國(guó)家發(fā)展上，國(guó)內(nèi)制造業(yè)發(fā)展落后，國(guó)產(chǎn)開機(jī)械等已經(jīng)無(wú)法滿足美國(guó)制作武器以及其他大型設(shè)備的需求，不得已，美國(guó)只能通過向其他國(guó)家進(jìn)口機(jī)械。而中國(guó)是美國(guó)主要機(jī)械進(jìn)口國(guó)，因?yàn)橹袊?guó)機(jī)械質(zhì)量等能夠滿足美國(guó)要求。雖然其他國(guó)家也有出口機(jī)械等，但由于國(guó)內(nèi)制造加工技術(shù)并不先進(jìn)，所以所出口機(jī)械無(wú)法讓美國(guó)滿意。

如今中國(guó)出臺(tái)管制法案，對(duì)一些機(jī)械器材進(jìn)行限制出口，美國(guó)將無(wú)法從中國(guó)進(jìn)口所需機(jī)械，這使美國(guó)政府官員暴跳如雷，他們表示，中方這一做法將直接影響到美國(guó)武器制作，美國(guó)會(huì)面臨斷供危機(jī)。

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