光刻機(jī)巨頭ASML為什么能成功？

在芯片制造環(huán)節(jié)中，光刻機(jī)是核心設(shè)備。沒(méi)有光刻機(jī)，半導(dǎo)體或遭斷鏈危機(jī)，“摩爾定律”將停止，人類也就無(wú)法設(shè)計(jì)、制造和封裝硅芯片。放眼全球，一家叫做ASML（阿斯麥）的荷蘭公司市場(chǎng)占有率達(dá)80%，是行業(yè)的絕對(duì)龍頭。

而在上世紀(jì)80年代，ASML只是飛利浦和ASM合資的一家小公司。但伴隨著半導(dǎo)體行業(yè)風(fēng)云變化，短短二十年時(shí)間，ASML就將昔日光刻機(jī)大國(guó)美國(guó)和日本拉下神壇。如今，全球7nm及以下工藝的EUV光刻機(jī)，只有它能提供。那么，ASML在光刻機(jī)領(lǐng)域快速崛起的原因是什么？其中的重要

轉(zhuǎn)折點(diǎn)有哪些？公司的主導(dǎo)者發(fā)揮了怎樣的作用？另外，為什么走向行業(yè)巔峰的只有ASML，而不是尼康、佳能？以及它又為什么沒(méi)有受到歐美的反壟斷調(diào)查？帶著這些問(wèn)題，科工力量采訪了《光刻巨人：ASML的崛起之路》作者、荷蘭Techwatch媒體公司CEO、荷蘭高科技學(xué)院董事總經(jīng)理瑞尼·雷吉梅克（Rene Raaijmakers），揭示ASML不為人知的成功密碼和可借鑒之處。

科工力量：能說(shuō)一下您為什么要寫《光刻巨人》這本書嗎？在創(chuàng)作過(guò)程中，您對(duì)ASML最深切的感受、印象或認(rèn)識(shí)是什么？以及最想與讀者分享什么內(nèi)容？

瑞尼·雷吉梅克：作為荷蘭的一名科技作家，我寫過(guò)很多關(guān)于飛利浦的文章。它曾是一家大公司，不僅發(fā)明了激光唱片，還是60年代到80年代的音頻和電視領(lǐng)域主導(dǎo)者之一。但當(dāng)我在90年代初開(kāi)始做記者時(shí)，飛利浦是一家非常糟糕的公司。他們沒(méi)能表現(xiàn)出領(lǐng)導(dǎo)力，沒(méi)能創(chuàng)新，幾乎要破產(chǎn)。不過(guò)，當(dāng)時(shí)ASML開(kāi)始在芯片光刻技術(shù)上取得進(jìn)展。這非常有趣，因?yàn)橥ㄟ^(guò)追蹤ASML，我能夠窺見(jiàn)整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)發(fā)展。而我的優(yōu)勢(shì)是，這家公司語(yǔ)言和我相同、距離很近，而且容易接近和很開(kāi)放。他們經(jīng)常幫我提供信息，尊重每一次采訪。后來(lái)，我開(kāi)始考慮，一旦ASML實(shí)現(xiàn)理想和抱負(fù)：打敗日本人、統(tǒng)治光刻世界，就寫一本關(guān)于他們的書。

許多人應(yīng)該對(duì)這家公司的以下幾點(diǎn)印象深刻。首先，ASML在1984年創(chuàng)立時(shí)，排在9到10家光刻廠商的最后一名。但他們后來(lái)成功擊敗了日本供應(yīng)商尼康和佳能。ASML通常將注意力集中在產(chǎn)品技術(shù)和上市的時(shí)間點(diǎn)上。而日本廠商雖然擁有更可靠的光刻機(jī)，但ASML的設(shè)備性能和輸出總是更好。其次，ASML掌握了EUV技術(shù)。這是一個(gè)漫長(zhǎng)而痛苦的過(guò)程，但非常復(fù)雜的光刻技術(shù)最終還是被開(kāi)發(fā)了出來(lái)。

實(shí)際上，由于研發(fā)這項(xiàng)技術(shù)異常困難，尼康和佳能很早就退出了。與此同時(shí)，這也是一項(xiàng)令人難以置信的成就，因?yàn)樵S多半導(dǎo)體行業(yè)廠商以及材料、設(shè)備供應(yīng)商都不相信EUV技術(shù)能被攻破。另外，早在1984年，ASML就已經(jīng)制定了一個(gè)愿景：要使公司的營(yíng)業(yè)額達(dá)到100萬(wàn)荷蘭盾，并且有很好的利潤(rùn)。而目前，每個(gè)ASML員工的收入就達(dá)到了50萬(wàn)歐元。如果對(duì)通貨膨脹進(jìn)行修正，這也是一個(gè)相當(dāng)不錯(cuò)的“小目標(biāo)”（1984年的100萬(wàn)荷蘭盾被修正為現(xiàn)在的100萬(wàn)歐元）。

科工力量：在成立初期，ASML沒(méi)錢沒(méi)人沒(méi)客戶，甚至只能在簡(jiǎn)易木板房工作。那么，在這樣的環(huán)境下，創(chuàng)始人德?tīng)枴て绽嗍窃鯓油苿?dòng)公司發(fā)展的？

瑞尼·雷吉梅克：事實(shí)上，德?tīng)枴て绽鄬?duì)半導(dǎo)體工業(yè)很熟悉，但在光刻方面沒(méi)有經(jīng)驗(yàn)。他很少去公司，主要忙于全球業(yè)務(wù)。就在ASML成立不久后，半導(dǎo)體行業(yè)出現(xiàn)了大滑坡，普拉多又忙于應(yīng)對(duì)各種危機(jī)。雖然他將ASML視為“寵兒”之一，但公司那時(shí)卻在流血。在最初的三年，飛利浦和ASM為ASML投資了1.32億荷蘭盾。但到了1988年初，普拉多已經(jīng)無(wú)法支付ASML高達(dá)50%的虧損額。這是因?yàn)镃EO賈特·斯密特發(fā)現(xiàn)公司一有需要時(shí)，就會(huì)大把花錢。為了在光刻領(lǐng)域成為“頭號(hào)玩家”，斯密特絕不會(huì)去重視節(jié)省每一分錢。

科工力量：ASML的首任CEO賈特·斯密特，曾帶領(lǐng)公司克服許多困難。您認(rèn)為，他的核心能力是什么？有哪些具體或典型案例？

瑞尼·雷吉梅克：賈特·斯密特是在正確的時(shí)間找到的最佳人選。他在航空航天和電信業(yè)都有經(jīng)驗(yàn)，這兩個(gè)行業(yè)都需要開(kāi)發(fā)復(fù)雜的產(chǎn)品和高資本投資?；诖?，他認(rèn)識(shí)到，當(dāng)時(shí)全球9到10家光刻機(jī)企業(yè)，只有少數(shù)能生存下來(lái)，就像在航空航天和電信行業(yè)一樣。另外，斯密特也是一個(gè)非常有抱負(fù)和自信的人，他學(xué)會(huì)了用“美國(guó)方式”做生意：你必須有一個(gè)計(jì)劃，然后執(zhí)行它，同時(shí)對(duì)你的行動(dòng)負(fù)責(zé)。書中也有一些談到（相關(guān)事跡）的案例?？乒ちα浚涸诙甑陌l(fā)展進(jìn)程中，ASML完成對(duì)美日光刻機(jī)巨頭的逆襲。這其中，ASML的重大轉(zhuǎn)折點(diǎn)有哪些？產(chǎn)生了怎樣的意義？

瑞尼·雷吉梅克：ASML僅用2年時(shí)間就研制出了PAS2500。在1986年初，這臺(tái)晶圓步進(jìn)機(jī)（stepper）已經(jīng)可以生產(chǎn)VLSI一代的芯片。這使他們?cè)谑袌?chǎng)上站穩(wěn)了腳跟，并能將設(shè)備賣給IDT、Cypress和AMD等小型芯片公司。

PAS5500光刻機(jī)在90年代初，憑借高度模塊化的PAS5500，ASML給IBM留下了深刻印象。當(dāng)時(shí)IBM是芯片生產(chǎn)的技術(shù)領(lǐng)先者。對(duì)其它半導(dǎo)體公司而言，ASML向IBM交付產(chǎn)品釋放了一個(gè)信號(hào)，說(shuō)明其擁有切實(shí)可行的技術(shù)。而在1994年前后，當(dāng)三星拋棄尼康成為ASML的客戶時(shí)，它的成功故事才真正開(kāi)始。到了90年代后期，ASML開(kāi)發(fā)出了Twinscan產(chǎn)品。這是一種雙工作臺(tái)光刻機(jī)，極大地提高了芯片生產(chǎn)效率，更促成英特爾和日本公司開(kāi)始使用ASML的技術(shù)。再到后來(lái)，伴隨著EUV技術(shù)的發(fā)展，ASML逐步壟斷了最先進(jìn)的芯片生產(chǎn)設(shè)備。

科工力量：您最近將ASML成功因素總結(jié)為：管理層的出色領(lǐng)導(dǎo)，良好的團(tuán)隊(duì)精神，以及注重聽(tīng)取客戶意見(jiàn)的企業(yè)文化等。那么，除此之外，ASML成功的外部因素有哪些？

瑞尼·雷吉梅克：我喜歡這個(gè)問(wèn)題，但很少有人會(huì)問(wèn)到。第一，1984年至1986年的經(jīng)濟(jì)衰退，導(dǎo)致市場(chǎng)領(lǐng)導(dǎo)者GCA退出。這家公司一度幾乎破產(chǎn)，由于美國(guó)將其技術(shù)納入國(guó)家戰(zhàn)略，才得以繼續(xù)存活。第二，通過(guò)歐洲基金和荷蘭政府早期的補(bǔ)貼，ASML獲得了大量資金。飛利浦和ASM在前3年向其投資了1.32億荷蘭盾。第三，芯片公司對(duì)最先進(jìn)技術(shù)的需求。那么誰(shuí)先掌握新技術(shù)，誰(shuí)就能賺幾十億收入。

科工力量：美國(guó)曾允許ASML加入EUV LLC聯(lián)盟，收購(gòu)SVG、Symer等公司，而且投入大量資本。后來(lái)有人認(rèn)為ASML是“半個(gè)美國(guó)公司”，這種觀點(diǎn)您是否認(rèn)同？原因是什么？

瑞尼·雷吉梅克：是的，這是真的。ASML一半是歐洲的，一半是美國(guó)的。它的主要股東也是美國(guó)人。

EUV工藝光刻出的晶圓樣品

科工力量：ASML研制出EUV光刻機(jī)后，進(jìn)一步確立行業(yè)霸主地位，全球市場(chǎng)份額達(dá)到80%以上。但為什么它在荷蘭、歐洲或者美國(guó)，幾乎都沒(méi)有受到反壟斷調(diào)查？

瑞尼·雷吉梅克：在我看來(lái)，這是因?yàn)锳SML只是超越了競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。它沒(méi)有買下競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手成為主要玩家，也沒(méi)有利用自己的力量將其他玩家擋在市場(chǎng)之外。這與人們?cè)贔acebook和谷歌身上看到的情況不同。另外，光刻機(jī)的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)環(huán)境也是開(kāi)放的，任何人都可以自由進(jìn)入開(kāi)發(fā)設(shè)備。但幾乎沒(méi)有人會(huì)這樣做，因?yàn)橹圃焖鼘?shí)在太難了，而且進(jìn)入成本太高了。

科工力量：ASML曾向中國(guó)出售了一臺(tái)EUV光刻機(jī)，但由于美國(guó)限制導(dǎo)致出口計(jì)劃擱淺。據(jù)您了解，荷蘭政府是否還有可能通過(guò)出口許可？

瑞尼·雷吉梅克：荷蘭政府不會(huì)自行采取行動(dòng)。沒(méi)有美國(guó)政府的同意，它不會(huì)做任何事情。這也是因?yàn)锳SML屬于“半個(gè)美國(guó)公司，半個(gè)歐洲公司”。

科工力量：ASML在中國(guó)許多城市已經(jīng)設(shè)立了分公司，今年5月又與無(wú)錫簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議，擴(kuò)建升級(jí)基地。但在當(dāng)前國(guó)際形勢(shì)下，您認(rèn)為，ASML將來(lái)是否會(huì)繼續(xù)加碼中國(guó)市場(chǎng)？

瑞尼·雷吉梅克：在不久的將來(lái)，如果計(jì)算系統(tǒng)銷售的數(shù)量，我認(rèn)為中國(guó)將成為ASML最大的客戶。而當(dāng)ASML開(kāi)始向中國(guó)銷售EUV光刻機(jī)時(shí)，中國(guó)未來(lái)肯定會(huì)成為ASML最大的市場(chǎng)。因此，ASML會(huì)持續(xù)關(guān)注和投入中國(guó)市場(chǎng)。

原文標(biāo)題：專訪：光刻機(jī)巨頭ASML為什么能成功？

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