在芯片制造環(huán)節(jié)中,光刻機(jī)是核心設(shè)備。沒(méi)有光刻機(jī),半導(dǎo)體或遭斷鏈危機(jī),“摩爾定律”將停止,人類也就無(wú)法設(shè)計(jì)、制造和封裝硅芯片。放眼全球,一家叫做ASML(阿斯麥)的荷蘭公司市場(chǎng)占有率達(dá)80%,是行業(yè)的絕對(duì)龍頭。
而在上世紀(jì)80年代,ASML只是飛利浦和ASM合資的一家小公司。但伴隨著半導(dǎo)體行業(yè)風(fēng)云變化,短短二十年時(shí)間,ASML就將昔日光刻機(jī)大國(guó)美國(guó)和日本拉下神壇。如今,全球7nm及以下工藝的EUV光刻機(jī),只有它能提供。那么,ASML在光刻機(jī)領(lǐng)域快速崛起的原因是什么?其中的重要
轉(zhuǎn)折點(diǎn)有哪些?公司的主導(dǎo)者發(fā)揮了怎樣的作用?另外,為什么走向行業(yè)巔峰的只有ASML,而不是尼康、佳能?以及它又為什么沒(méi)有受到歐美的反壟斷調(diào)查?帶著這些問(wèn)題,科工力量采訪了《光刻巨人:ASML的崛起之路》作者、荷蘭Techwatch媒體公司CEO、荷蘭高科技學(xué)院董事總經(jīng)理瑞尼·雷吉梅克(Rene Raaijmakers),揭示ASML不為人知的成功密碼和可借鑒之處。
科工力量:能說(shuō)一下您為什么要寫《光刻巨人》這本書嗎?在創(chuàng)作過(guò)程中,您對(duì)ASML最深切的感受、印象或認(rèn)識(shí)是什么?以及最想與讀者分享什么內(nèi)容?
瑞尼·雷吉梅克:作為荷蘭的一名科技作家,我寫過(guò)很多關(guān)于飛利浦的文章。它曾是一家大公司,不僅發(fā)明了激光唱片,還是60年代到80年代的音頻和電視領(lǐng)域主導(dǎo)者之一。但當(dāng)我在90年代初開(kāi)始做記者時(shí),飛利浦是一家非常糟糕的公司。他們沒(méi)能表現(xiàn)出領(lǐng)導(dǎo)力,沒(méi)能創(chuàng)新,幾乎要破產(chǎn)。不過(guò),當(dāng)時(shí)ASML開(kāi)始在芯片光刻技術(shù)上取得進(jìn)展。這非常有趣,因?yàn)橥ㄟ^(guò)追蹤ASML,我能夠窺見(jiàn)整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)發(fā)展。而我的優(yōu)勢(shì)是,這家公司語(yǔ)言和我相同、距離很近,而且容易接近和很開(kāi)放。他們經(jīng)常幫我提供信息,尊重每一次采訪。后來(lái),我開(kāi)始考慮,一旦ASML實(shí)現(xiàn)理想和抱負(fù):打敗日本人、統(tǒng)治光刻世界,就寫一本關(guān)于他們的書。
許多人應(yīng)該對(duì)這家公司的以下幾點(diǎn)印象深刻。首先,ASML在1984年創(chuàng)立時(shí),排在9到10家光刻廠商的最后一名。但他們后來(lái)成功擊敗了日本供應(yīng)商尼康和佳能。ASML通常將注意力集中在產(chǎn)品技術(shù)和上市的時(shí)間點(diǎn)上。而日本廠商雖然擁有更可靠的光刻機(jī),但ASML的設(shè)備性能和輸出總是更好。其次,ASML掌握了EUV技術(shù)。這是一個(gè)漫長(zhǎng)而痛苦的過(guò)程,但非常復(fù)雜的光刻技術(shù)最終還是被開(kāi)發(fā)了出來(lái)。
實(shí)際上,由于研發(fā)這項(xiàng)技術(shù)異常困難,尼康和佳能很早就退出了。與此同時(shí),這也是一項(xiàng)令人難以置信的成就,因?yàn)樵S多半導(dǎo)體行業(yè)廠商以及材料、設(shè)備供應(yīng)商都不相信EUV技術(shù)能被攻破。另外,早在1984年,ASML就已經(jīng)制定了一個(gè)愿景:要使公司的營(yíng)業(yè)額達(dá)到100萬(wàn)荷蘭盾,并且有很好的利潤(rùn)。而目前,每個(gè)ASML員工的收入就達(dá)到了50萬(wàn)歐元。如果對(duì)通貨膨脹進(jìn)行修正,這也是一個(gè)相當(dāng)不錯(cuò)的“小目標(biāo)”(1984年的100萬(wàn)荷蘭盾被修正為現(xiàn)在的100萬(wàn)歐元)。
科工力量:在成立初期,ASML沒(méi)錢沒(méi)人沒(méi)客戶,甚至只能在簡(jiǎn)易木板房工作。那么,在這樣的環(huán)境下,創(chuàng)始人德?tīng)枴て绽嗍窃鯓油苿?dòng)公司發(fā)展的?
瑞尼·雷吉梅克:事實(shí)上,德?tīng)枴て绽鄬?duì)半導(dǎo)體工業(yè)很熟悉,但在光刻方面沒(méi)有經(jīng)驗(yàn)。他很少去公司,主要忙于全球業(yè)務(wù)。就在ASML成立不久后,半導(dǎo)體行業(yè)出現(xiàn)了大滑坡,普拉多又忙于應(yīng)對(duì)各種危機(jī)。雖然他將ASML視為“寵兒”之一,但公司那時(shí)卻在流血。在最初的三年,飛利浦和ASM為ASML投資了1.32億荷蘭盾。但到了1988年初,普拉多已經(jīng)無(wú)法支付ASML高達(dá)50%的虧損額。這是因?yàn)镃EO賈特·斯密特發(fā)現(xiàn)公司一有需要時(shí),就會(huì)大把花錢。為了在光刻領(lǐng)域成為“頭號(hào)玩家”,斯密特絕不會(huì)去重視節(jié)省每一分錢。
科工力量:ASML的首任CEO賈特·斯密特,曾帶領(lǐng)公司克服許多困難。您認(rèn)為,他的核心能力是什么?有哪些具體或典型案例?
瑞尼·雷吉梅克:賈特·斯密特是在正確的時(shí)間找到的最佳人選。他在航空航天和電信業(yè)都有經(jīng)驗(yàn),這兩個(gè)行業(yè)都需要開(kāi)發(fā)復(fù)雜的產(chǎn)品和高資本投資?;诖?,他認(rèn)識(shí)到,當(dāng)時(shí)全球9到10家光刻機(jī)企業(yè),只有少數(shù)能生存下來(lái),就像在航空航天和電信行業(yè)一樣。另外,斯密特也是一個(gè)非常有抱負(fù)和自信的人,他學(xué)會(huì)了用“美國(guó)方式”做生意:你必須有一個(gè)計(jì)劃,然后執(zhí)行它,同時(shí)對(duì)你的行動(dòng)負(fù)責(zé)。書中也有一些談到(相關(guān)事跡)的案例??乒ちα浚涸诙甑陌l(fā)展進(jìn)程中,ASML完成對(duì)美日光刻機(jī)巨頭的逆襲。這其中,ASML的重大轉(zhuǎn)折點(diǎn)有哪些?產(chǎn)生了怎樣的意義?
瑞尼·雷吉梅克:ASML僅用2年時(shí)間就研制出了PAS2500。在1986年初,這臺(tái)晶圓步進(jìn)機(jī)(stepper)已經(jīng)可以生產(chǎn)VLSI一代的芯片。這使他們?cè)谑袌?chǎng)上站穩(wěn)了腳跟,并能將設(shè)備賣給IDT、Cypress和AMD等小型芯片公司。
PAS5500光刻機(jī)在90年代初,憑借高度模塊化的PAS5500,ASML給IBM留下了深刻印象。當(dāng)時(shí)IBM是芯片生產(chǎn)的技術(shù)領(lǐng)先者。對(duì)其它半導(dǎo)體公司而言,ASML向IBM交付產(chǎn)品釋放了一個(gè)信號(hào),說(shuō)明其擁有切實(shí)可行的技術(shù)。而在1994年前后,當(dāng)三星拋棄尼康成為ASML的客戶時(shí),它的成功故事才真正開(kāi)始。到了90年代后期,ASML開(kāi)發(fā)出了Twinscan產(chǎn)品。這是一種雙工作臺(tái)光刻機(jī),極大地提高了芯片生產(chǎn)效率,更促成英特爾和日本公司開(kāi)始使用ASML的技術(shù)。再到后來(lái),伴隨著EUV技術(shù)的發(fā)展,ASML逐步壟斷了最先進(jìn)的芯片生產(chǎn)設(shè)備。
科工力量:您最近將ASML成功因素總結(jié)為:管理層的出色領(lǐng)導(dǎo),良好的團(tuán)隊(duì)精神,以及注重聽(tīng)取客戶意見(jiàn)的企業(yè)文化等。那么,除此之外,ASML成功的外部因素有哪些?
瑞尼·雷吉梅克:我喜歡這個(gè)問(wèn)題,但很少有人會(huì)問(wèn)到。第一,1984年至1986年的經(jīng)濟(jì)衰退,導(dǎo)致市場(chǎng)領(lǐng)導(dǎo)者GCA退出。這家公司一度幾乎破產(chǎn),由于美國(guó)將其技術(shù)納入國(guó)家戰(zhàn)略,才得以繼續(xù)存活。第二,通過(guò)歐洲基金和荷蘭政府早期的補(bǔ)貼,ASML獲得了大量資金。飛利浦和ASM在前3年向其投資了1.32億荷蘭盾。第三,芯片公司對(duì)最先進(jìn)技術(shù)的需求。那么誰(shuí)先掌握新技術(shù),誰(shuí)就能賺幾十億收入。
科工力量:美國(guó)曾允許ASML加入EUV LLC聯(lián)盟,收購(gòu)SVG、Symer等公司,而且投入大量資本。后來(lái)有人認(rèn)為ASML是“半個(gè)美國(guó)公司”,這種觀點(diǎn)您是否認(rèn)同?原因是什么?
瑞尼·雷吉梅克:是的,這是真的。ASML一半是歐洲的,一半是美國(guó)的。它的主要股東也是美國(guó)人。
EUV工藝光刻出的晶圓樣品
科工力量:ASML研制出EUV光刻機(jī)后,進(jìn)一步確立行業(yè)霸主地位,全球市場(chǎng)份額達(dá)到80%以上。但為什么它在荷蘭、歐洲或者美國(guó),幾乎都沒(méi)有受到反壟斷調(diào)查?
瑞尼·雷吉梅克:在我看來(lái),這是因?yàn)锳SML只是超越了競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。它沒(méi)有買下競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手成為主要玩家,也沒(méi)有利用自己的力量將其他玩家擋在市場(chǎng)之外。這與人們?cè)贔acebook和谷歌身上看到的情況不同。另外,光刻機(jī)的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)環(huán)境也是開(kāi)放的,任何人都可以自由進(jìn)入開(kāi)發(fā)設(shè)備。但幾乎沒(méi)有人會(huì)這樣做,因?yàn)橹圃焖鼘?shí)在太難了,而且進(jìn)入成本太高了。
科工力量:ASML曾向中國(guó)出售了一臺(tái)EUV光刻機(jī),但由于美國(guó)限制導(dǎo)致出口計(jì)劃擱淺。據(jù)您了解,荷蘭政府是否還有可能通過(guò)出口許可?
瑞尼·雷吉梅克:荷蘭政府不會(huì)自行采取行動(dòng)。沒(méi)有美國(guó)政府的同意,它不會(huì)做任何事情。這也是因?yàn)锳SML屬于“半個(gè)美國(guó)公司,半個(gè)歐洲公司”。
科工力量:ASML在中國(guó)許多城市已經(jīng)設(shè)立了分公司,今年5月又與無(wú)錫簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議,擴(kuò)建升級(jí)基地。但在當(dāng)前國(guó)際形勢(shì)下,您認(rèn)為,ASML將來(lái)是否會(huì)繼續(xù)加碼中國(guó)市場(chǎng)?
瑞尼·雷吉梅克:在不久的將來(lái),如果計(jì)算系統(tǒng)銷售的數(shù)量,我認(rèn)為中國(guó)將成為ASML最大的客戶。而當(dāng)ASML開(kāi)始向中國(guó)銷售EUV光刻機(jī)時(shí),中國(guó)未來(lái)肯定會(huì)成為ASML最大的市場(chǎng)。因此,ASML會(huì)持續(xù)關(guān)注和投入中國(guó)市場(chǎng)。
原文標(biāo)題:專訪:光刻機(jī)巨頭ASML為什么能成功?
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