北方華創(chuàng)刻蝕機(jī)1000腔順利交付：12英寸已實(shí)現(xiàn)客戶端28nm國(guó)產(chǎn)化替代
據(jù)北方華創(chuàng)官方發(fā)布， 12 月 1 日，北方華創(chuàng) lCP 刻蝕機(jī) 1000 腔交付儀式在亦莊基地隆重舉行。
IT之家獲悉，北方華創(chuàng)公司于 2001 年成立，開始組建團(tuán)隊(duì)鉆研刻蝕技術(shù)，2004 年首臺(tái)設(shè)備實(shí)現(xiàn)成功起輝，2005 年第一臺(tái) 8 英寸 ICP 刻蝕機(jī)在客戶端上線，并于 2007 年獲得國(guó)家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎(jiǎng)。
在集成電路領(lǐng)域獲得突破的同時(shí)，北方華創(chuàng)在積極將刻蝕技術(shù)橫向拓展，目前應(yīng)用領(lǐng)域已覆蓋集成電路、LED、先進(jìn)封裝、功率半導(dǎo)體、MEMS、化合物半導(dǎo)體、硅基微顯等多個(gè)領(lǐng)域。12 英寸 ICP 刻蝕機(jī)在實(shí)現(xiàn)客戶端 28nm 國(guó)產(chǎn)化替代同時(shí)，在 14/7nm SADP/SAQP、先進(jìn)存儲(chǔ)器、3D TSV 等工藝應(yīng)用中也發(fā)揮著重要作用。
責(zé)任編輯：haq
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