光刻機(jī)在芯片制造、芯片先進(jìn)封裝、LED制造、下一代顯示屏制造四大方面,都有廣泛的應(yīng)用,是重要的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備。
ASML作為全球領(lǐng)先的光刻機(jī)巨頭,其光刻機(jī)產(chǎn)品受到了英特爾、三星等廠商的爭(zhēng)搶。而中國(guó)廠商也爭(zhēng)搶這一行列中。
1月21日,中國(guó)珠海-英諾賽科同ASML達(dá)成購買協(xié)議,將成批量購買高產(chǎn)能i-line與KrF光刻機(jī)。
得益于雙工件臺(tái)架構(gòu),與其他廠商產(chǎn)品相比,ASML的i-line與KrF光刻機(jī)擁有最高的性能、最高的生產(chǎn)效率,以及低成本。
在今年第二季度,首批光刻將進(jìn)入英諾賽科。它們將用于制造新進(jìn)的硅基氮化鎵功率器件。
英諾賽科主營(yíng)第三代半導(dǎo)體硅基氮化鎵的研發(fā)與生產(chǎn),成功打造硅基氮化鎵全產(chǎn)業(yè)鏈平臺(tái),擁有研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造等實(shí)力。
成立短短幾年的時(shí)間,英諾賽科已經(jīng)形成了不錯(cuò)的競(jìng)爭(zhēng)實(shí)力。如今,英諾賽科已經(jīng)申請(qǐng)250余項(xiàng)國(guó)內(nèi)外核心專利技術(shù)。
在2015年12月,英諾賽科建設(shè)了8英寸硅基氮化鎵研發(fā)生產(chǎn)基地,并實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn),填補(bǔ)了中國(guó)8英寸硅基氮化鎵材料與器件的空白,邁出了從0到1的重要一步。
而在2021年3月,蘇州項(xiàng)目一期計(jì)劃正式投產(chǎn),有望成為全球產(chǎn)能最大的8英寸硅基氮化鎵量產(chǎn)線,年產(chǎn)能可達(dá)78萬片。
如今,英諾賽科大批采購來ASML的光刻機(jī)設(shè)備,將進(jìn)一步提升公司生產(chǎn)效率,增強(qiáng)競(jìng)爭(zhēng)實(shí)力。
30V-650V硅基氮化鎵功率及射頻器件是英諾賽科的主要產(chǎn)品,英諾賽科是全球唯一兼具低壓與高壓硅基氮化鎵芯片量產(chǎn)能力的企業(yè)。
英諾賽科的低壓30-200V器件用在數(shù)據(jù)中心、自動(dòng)駕駛激光雷達(dá)等新興產(chǎn)業(yè)中;而高壓650V器件則在汽車、工業(yè)電機(jī)等領(lǐng)域有所發(fā)揮。
如今,小米、浪潮、大疆、華為等,都是英諾賽科的合作廠商。相信在這些廠商的共同努力下,中國(guó)硅基氮化鎵產(chǎn)品將進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化。
當(dāng)前,第三代半導(dǎo)體器件正逐漸成為業(yè)界的主流,氮化鎵便是其中代表。這預(yù)示著,英諾賽科未來有著廣闊的發(fā)展空間。
目前英諾賽科雖然在氮化鎵功率器件市場(chǎng)的滲透率,還不足1%,但背靠中國(guó)這個(gè)全球最大的半導(dǎo)體消費(fèi)市場(chǎng),在國(guó)產(chǎn)替代化加速的大背景下,英諾賽科的未來值得期待。
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