受美國阻撓及新冠疫情影響,此前我國企業(yè)向ASML訂購的EUV光刻機(jī)遲遲未能到貨。如今,中企有望在其他供應(yīng)商處找到轉(zhuǎn)機(jī)。
在耗時(shí)近4個(gè)月后,晶瑞股份斥資1102.5萬美元(約合人民幣7129萬元),從韓國代理商SK Hynix處購買的二手ASML浸沒式光刻機(jī)(XT 1900Gi)已順利到貨。
據(jù)報(bào)道,該司預(yù)計(jì)2021年上半年完成設(shè)備的安裝調(diào)試,用于研發(fā)最高分辨率達(dá)28nm的高端光刻膠;并期望在3年內(nèi)完成ArF光刻膠產(chǎn)品相關(guān)技術(shù)參數(shù)及產(chǎn)品定型,實(shí)現(xiàn)規(guī)模化生產(chǎn)。
所謂光刻膠,是一種對(duì)光敏感的有機(jī)混合物,主要應(yīng)用于芯片制造環(huán)節(jié)中微細(xì)圖形的加工。據(jù)晶瑞股份董事長(zhǎng)吳天舒介紹,該設(shè)備有利于解決我國在集成電路制造領(lǐng)域關(guān)鍵材料“卡脖子”難題,待光刻膠成功研發(fā)后,也將為國產(chǎn)12英寸芯片的制造提供重要材料。
雖然光刻膠研發(fā)難度比光刻機(jī)的難度要小,但在核心材料上,目前我國仍然需要從海外進(jìn)口。
而當(dāng)前全球光刻膠市場(chǎng)基本被歐盟以及日本等幾家大型企業(yè)壟斷,在關(guān)鍵材料領(lǐng)域,信越化學(xué)、合成橡膠、富士膠片等日企則掌握著主要話語權(quán)。
因此,近年來我國也一直試圖打破日本在光刻膠領(lǐng)域的壟斷,近年來已有晶瑞股份、南大光電、以及上海新陽等中企入局。
南大光電發(fā)布公告稱,該司研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品已通過客戶使用認(rèn)證,標(biāo)志著國內(nèi)第一只國產(chǎn)ArF光刻膠的誕生。
除了中企加速入局,“國家隊(duì)”也集中力量幫助該領(lǐng)域的發(fā)展。去年9月份,在華為被斷供一天后,中科院院長(zhǎng)白春禮表示,將把美國“卡脖子清單”變成我國科研任務(wù)清單進(jìn)行布局,集中全院的力量攻克難關(guān)。
責(zé)任編輯:pj
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