集微網(wǎng)消息,3月8日,上海新陽(yáng)發(fā)布關(guān)于ASML-1400光刻機(jī)進(jìn)展的公告稱,現(xiàn)經(jīng)各方積極協(xié)商、運(yùn)作,該光刻機(jī)設(shè)備于今日已進(jìn)入合作方北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心(北京)有限公司場(chǎng)地,后續(xù)將進(jìn)行安裝調(diào)試等相關(guān)工作。
據(jù)披露,上海新陽(yáng)自立項(xiàng)開(kāi)發(fā)193nmArF干法光刻膠的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目以來(lái),安排購(gòu)買了ASML-1400光刻機(jī)等核心設(shè)備,并于2020年12月14日在《關(guān)于公司申請(qǐng)向特定對(duì)象發(fā)行股票的審核問(wèn)詢函的回復(fù)》中披露,該光刻機(jī)將于2020年底前運(yùn)抵國(guó)內(nèi)。后由于公司與光刻機(jī)供應(yīng)商、北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心(北京)有限公司(以下簡(jiǎn)稱“合作方”)溝通協(xié)調(diào)設(shè)備運(yùn)輸與安裝等細(xì)節(jié),致使設(shè)備沒(méi)能在規(guī)定時(shí)間內(nèi)運(yùn)達(dá),但與合作方就具體合作細(xì)節(jié)簽署了《合作框架協(xié)議》,并發(fā)布了《關(guān)于ASML-1400光刻機(jī)進(jìn)展暨簽訂<合作框架協(xié)議>的公告》,預(yù)計(jì)該光刻機(jī)將于2021年3月底前進(jìn)入合作方現(xiàn)場(chǎng)。
北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心(北京)有限公司與上海新陽(yáng)將合作在北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心(北京)有限公司指定工廠搭建光刻膠驗(yàn)證平臺(tái),該平臺(tái)由ArF光刻機(jī)(上海新陽(yáng)負(fù)責(zé)提供)和涂膠顯影機(jī)(北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心(北京)有限公司負(fù)責(zé)提供)組成,用于先進(jìn)光刻膠驗(yàn)證。
上海新陽(yáng)表示,公司采購(gòu)的ASML干法光刻機(jī)設(shè)備順利交付,對(duì)加快193nmArF干法光刻膠產(chǎn)品開(kāi)發(fā)進(jìn)度有積極影響,有利于進(jìn)一步提升公司光刻膠產(chǎn)品的核心競(jìng)爭(zhēng)力,加快落實(shí)公司發(fā)展戰(zhàn)略,提高公司抗風(fēng)險(xiǎn)能力和可持續(xù)發(fā)展能力。
值得注意的是,該光刻機(jī)尚須經(jīng)過(guò)裝機(jī)、調(diào)試等相關(guān)環(huán)節(jié),若相關(guān)環(huán)節(jié)出現(xiàn)工作疏漏或失誤則存在造成所購(gòu)買的光刻機(jī)投入使用的過(guò)程較長(zhǎng)甚至無(wú)法投入使用的風(fēng)險(xiǎn)。
此外,光刻膠研發(fā)項(xiàng)目技術(shù)壁壘高、周期長(zhǎng)、至產(chǎn)業(yè)化并最終實(shí)現(xiàn)銷售利潤(rùn)仍需一定時(shí)間,而公司購(gòu)買的光刻機(jī)設(shè)備價(jià)格昂貴,其折舊及后續(xù)維護(hù)費(fèi)用預(yù)計(jì)對(duì)公司的經(jīng)營(yíng)業(yè)績(jī)存在一定影響。
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原文標(biāo)題:上海新陽(yáng):ASML-1400光刻機(jī)已進(jìn)入合作方場(chǎng)地,用于先進(jìn)光刻膠驗(yàn)證
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