經(jīng)過20多年發(fā)展,納米壓印技術(shù)、工藝逐漸成熟,越來越多終端市場產(chǎn)品開始搭載采用納米壓印技術(shù)生產(chǎn)的器件。該技術(shù)避免了極為復(fù)雜的光學(xué)器件制造工藝,在保持高精度的同時(shí),也不會(huì)隨產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的復(fù)雜程度增加而額外增加制造成本。在集成電路、生物傳感器、微納光學(xué)器件等應(yīng)用領(lǐng)域的大批量生產(chǎn)方面,具有無可比擬的優(yōu)勢。
在今年慕尼黑光博會(huì)舉辦的3D人臉識(shí)別大會(huì)上,3D光學(xué)器件廠商均拿出了自己的光學(xué)解決方案,無論是采用散斑結(jié)構(gòu)光方案,還是i-TOF、d-TOF方案,其核心光學(xué)器件DOE和Diffuser的制造都是采用納米壓印技術(shù)量產(chǎn)的。
納米壓印是通過壓印使高分子材料產(chǎn)生物理變形以實(shí)現(xiàn)光刻膠的圖形化,其分辨率不受光的衍射和散射等因素的限制,可突破傳統(tǒng)光刻工藝的分辨率極限。
埃眸科技壓印175 nm寬度光柵
其次,壓印光刻不需要復(fù)雜的透鏡、曝光光源,并且可以大批量重復(fù)的在大面積上制備納米圖形結(jié)構(gòu),所制作的圖案具有很好的均勻性和重復(fù)性,是一種能夠以低制作成本和高生產(chǎn)效率獲得高精度圖案的極佳生產(chǎn)方法。
此外,可以將三維結(jié)構(gòu)事先雕刻在模板表面,從而實(shí)現(xiàn)高深寬比復(fù)雜形狀的三維結(jié)構(gòu)圖形的直接復(fù)制。由于壓印光刻具有其他光刻技術(shù)不可比擬的眾多優(yōu)點(diǎn),是量產(chǎn)微納器件的最佳技術(shù)之一。
基于以上優(yōu)勢,納米壓印技術(shù)正逐步成為一種高精度、低成本、高效的微納加工解決方案,例如在半導(dǎo)體芯片(CMOS芯片)、生物傳感器(例如基因測序、單分子檢測)、光學(xué)器件(DOE、Diffuser、MLA、AR衍射波導(dǎo))、光通信(例如DFB激光器)等方面應(yīng)用具有無可比擬的優(yōu)勢,給消費(fèi)、生物、汽車等領(lǐng)域帶來極大的發(fā)展空間,產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用爆發(fā)在即。
盡管納米壓印技術(shù)原理簡單、具有極強(qiáng)的技術(shù)優(yōu)勢,但由于其工藝加工對(duì)象是納米級(jí)圖形結(jié)構(gòu),操作對(duì)象極其精密,所以工藝過程的每一步都對(duì)設(shè)備和操作有近似苛刻的要求,技術(shù)含量很高。尤其是調(diào)平和對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)精度、模板加工精度,材料適配選擇、壓印工藝細(xì)節(jié)等更成為納米壓印技術(shù)的核心難點(diǎn),直接影響納米壓印復(fù)制精度及大批量生產(chǎn)的關(guān)鍵點(diǎn)。
埃眸科技是一家專業(yè)從事納米壓印光刻技術(shù)解決方案的公司,核心業(yè)務(wù)是提供納米壓印設(shè)備、制版、工藝、材料系統(tǒng)解決方案。埃眸科技的研發(fā)團(tuán)隊(duì)來自半導(dǎo)體頭部企業(yè),擁有豐富高精密設(shè)備開發(fā)經(jīng)驗(yàn),同時(shí)還有一支專業(yè)的工藝團(tuán)隊(duì),在輸出設(shè)備的同時(shí)提供工藝配套服務(wù)。
目前,埃眸科技已經(jīng)實(shí)現(xiàn)多款量產(chǎn)型納米壓印設(shè)備的自主研發(fā),從研發(fā)型到量產(chǎn)型,從輥壓到硬板壓,再到氣動(dòng)壓印,根據(jù)不同客戶不同產(chǎn)品需求,輸出不同的針對(duì)性設(shè)備。公司深耕納米壓印領(lǐng)域,并且已經(jīng)持續(xù)出貨交付客戶。
物質(zhì)在納米尺度下表現(xiàn)出的奇異現(xiàn)象和規(guī)律將改變相關(guān)理論的現(xiàn)有框架,使人們對(duì)物質(zhì)世界的認(rèn)識(shí)進(jìn)入到嶄新的階段,孕育著新的技術(shù)革命,給材料、信息、制造、生物和醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域帶來極大的發(fā)展空間。納米科技已成為許多國家提升核心競爭力的產(chǎn)略選擇,也是我國有望實(shí)現(xiàn)跨越式發(fā)展的領(lǐng)域之一,埃眸科技致力于提供納米壓印一站式解決方案,和合作伙伴一起積極探索新的應(yīng)用場景。
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原文標(biāo)題:納米壓印產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用爆發(fā)在即,埃眸科技量產(chǎn)設(shè)備持續(xù)出貨
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