白光干涉儀測(cè)物體表面三維形貌

作為三維形貌測(cè)量領(lǐng)域的高精度檢測(cè)儀器之一，在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域，白光干涉儀可以提供更高精度的檢測(cè)需求。測(cè)量三維形貌的系統(tǒng)原理是在視場(chǎng)范圍內(nèi)從樣品表面底部到頂部逐層掃描，獲得數(shù)百幅干涉條紋圖像，找到該過程中每一個(gè)像素點(diǎn)處于光強(qiáng)最大時(shí)的位置，完成3D重建。

SuperViewW1白光干涉儀由光學(xué)照明系統(tǒng)、光學(xué)成像系統(tǒng)、垂直掃描控制系統(tǒng)、信號(hào)處理系統(tǒng)、應(yīng)用軟件構(gòu)成。其中信號(hào)處理系統(tǒng)作為儀器核心部分，由計(jì)算機(jī)和數(shù)字信號(hào)協(xié)處理器構(gòu)成。利用計(jì)算機(jī)采集一系列原始圖像數(shù)據(jù)，然后使用專用的數(shù)字信號(hào)協(xié)處理器完成數(shù)據(jù)解析作業(yè)。重建算法能自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm。

性能特點(diǎn)

1、輪廓/粗糙度測(cè)量功能：
高到亞納米級(jí)的高度分辨率，在寬度、高度、角度、直徑等各類輪廓尺寸測(cè)量功能以及表征表面整體加工質(zhì)量的粗糙度等指標(biāo)；

2、自動(dòng)化測(cè)量功能：
自動(dòng)單區(qū)域測(cè)量/自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量/自動(dòng)拼接測(cè)量；

3、復(fù)合型掃描算法：
集合了PSI高精度&VSI大范圍雙重優(yōu)點(diǎn)的EPSI掃描算法，有效覆蓋從超光滑到粗糙等所有類型樣品，無須切換，操作便捷；

4、雙重防撞保護(hù)功能：
Z軸上裝有防撞機(jī)械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護(hù)功能，雙重保護(hù)，多一重安心；

5、環(huán)境噪聲檢測(cè)功能：
環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)功能能夠定量檢測(cè)儀器當(dāng)前所處環(huán)境的綜合噪聲數(shù)值，對(duì)儀器的調(diào)試、測(cè)試可靠性提供指導(dǎo)；

6、完善的售后服務(wù)體系：
設(shè)備故障遠(yuǎn)程&現(xiàn)場(chǎng)解決，軟件免費(fèi)升級(jí)。

應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體—輪廓尺寸測(cè)量

光伏柵線—厚度和寬度測(cè)量

微流控器件—槽道測(cè)量

光學(xué)衍射片

超精密加工


審核編輯 黃昊宇