微光機電系統(tǒng)(MOEMS)加速度計綜合了光學、微機械和電學等多種學科的特性,不僅具有一般MEMS傳感器的體積小、低成本的優(yōu)勢,而且進一步拓寬了加速度計的應用范圍,因此過去十幾年得到了快速發(fā)展。根據(jù)光學原理,加速度計被分為光強調(diào)制、相位調(diào)制和波長調(diào)制等多種類型?;诠鈴娬{(diào)制原理設計的傳感器發(fā)展較早,器件相對成熟,但其精度不高,光源穩(wěn)定性直接影響加速度計的分辨率。相位調(diào)制型和波長調(diào)制型傳感器基于其高精度、高穩(wěn)定性和高可靠性等優(yōu)點,成為MOEMS加速度計的主流趨勢。
據(jù)麥姆斯咨詢報道,為了進一步提升MOEMS加速度計性能,上海應用技術(shù)大學研究人員通過結(jié)合光學檢測模塊和加速度計微機械結(jié)構(gòu)的優(yōu)化分析,并綜合微加工技術(shù)條件,設計了一種基于波長調(diào)制的雙端差分檢測MOEMS加速度計。該加速度計具有高靈敏度、高線性度、高穩(wěn)定性和抗電磁干擾等優(yōu)勢。相關(guān)研究成果已發(fā)表于《應用技術(shù)學報》期刊。
該項工作中,為了設計一種高靈敏度、穩(wěn)定性好、測試簡便的光學加速度計,研究人員選擇了對光源穩(wěn)定性要求低、抗噪能力強的波長調(diào)制檢測模塊。基于建立的光學模型,通過改變活動光柵數(shù)、光柵間距、光柵厚度等影響透射光譜因子,分析了透射光譜變化對加速度計靈敏度、量程等性能影響。其中,活動光柵數(shù)增多,透射波的透射率變低,對加速度計檢測部分要求變高;兩光柵間距變小,透射波波長變化明顯,加速度計的靈敏度提高,但量程變??;光柵厚度增加,透射光譜的禁帶變窄,會影響加速度計的量程。通過研究這些影響因素,并總結(jié)透射光譜變化規(guī)律,研究人員完成了加速度計的優(yōu)化設計。
不同活動光柵數(shù)的模型
綜合光學檢測模塊的優(yōu)化分析,并結(jié)合微加工技術(shù)條件,研究人員設計了一種具有雙端差分檢測結(jié)構(gòu)的MOEMS加速度計。其質(zhì)量塊由4個Μ形梁支撐,2個活動光柵對稱分布在質(zhì)量塊兩邊。當施加外部加速度時,連接在質(zhì)量塊上的活動光柵在傳感方向中有相對位移,從而導致輸出透射波長變化。通過檢測波長變化,計算加速度的大小。該雙端檢測結(jié)構(gòu)提高了器件的對稱性,降低了交叉靈敏度的影響,同時在測試中能進行結(jié)果驗證,使檢測結(jié)果不受儀器連接等人為因素影響。
經(jīng)仿真計算,該加速度計的機械靈敏度為3.83 μm/g,光學檢測靈敏度為0.52 μm/g,分辨率為19×10?? g,諧響應頻率為471 Hz。
MOEMS加速度計結(jié)構(gòu)
MOEMS加速度計的前二階諧振模型
禁帶中仿真11次的透射波示意圖
加速度與透射波長特性曲線
該項研究提出的MOEMS加速度計具有高靈敏度、高線性度、高穩(wěn)定性和抗電磁干擾等優(yōu)勢,將能夠適用于強磁場、遠程遙控等環(huán)境中的振動監(jiān)測。
審核編輯:郭婷
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原文標題:波長調(diào)制型光波導集成MOEMS加速度計
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