國產(chǎn)氧化鎵研究，取得新進展

12日，記者從中國科學技術(shù)大學獲悉，日前在美國舊金山召開的第68屆國際電子器件大會（IEEE IEDM）上，中國科大國家示范性微電子學院龍世兵教授課題組兩篇關(guān)于氧化鎵器件的研究論文（高功率氧化鎵肖特基二極管和氧化鎵光電探測器）被大會接收。

IEEE IEDM是一個年度微電子和納電子學術(shù)會議，是報告半導體和電子器件技術(shù)、設(shè)計、制造、物理和建模等領(lǐng)域的關(guān)鍵技術(shù)突破的世界頂級論壇，其與ISSCC、VLSI并稱為集成電路和半導體領(lǐng)域的“奧林匹克盛會”。

如何開發(fā)出有效的邊緣終端結(jié)構(gòu)，緩解肖特基電極邊緣電場是目前氧化鎵肖特基二極管研究的熱點。由于氧化鎵P型摻雜目前尚未解決，PN結(jié)相關(guān)的邊緣終端結(jié)構(gòu)一直是難點。龍世兵課題組基于氧化鎵異質(zhì)PN結(jié)的前期研究基礎(chǔ)，將異質(zhì)結(jié)終端擴展結(jié)構(gòu)成功應用于氧化鎵肖特基二極管。該研究通過合理設(shè)計優(yōu)化JTE區(qū)域的電荷濃度，確保不影響二極管正向特性的同時最大化削弱肖特基邊緣電場，從而有效提高器件的耐壓能力。優(yōu)化后的器件實現(xiàn)了2.9mΩ·cm^2的低導通電阻和2.1kV的高擊穿電壓，其功率品質(zhì)因數(shù)高達1.52GW/cm2。此外，利用該優(yōu)化工藝成功制備并封裝了大面積的氧化鎵肖特基二極管，器件正向偏壓2V下電流密度達到180A/cm^2，反向擊穿電壓高達1.3kV。

光電探測器在目標跟蹤、環(huán)境監(jiān)測、光通信、深空探索等諸多領(lǐng)域發(fā)揮著越來越重要的作用。響應度和響應速度是光電探測器的兩個關(guān)鍵的性能參數(shù)，然而這兩個指標之間存在著制約關(guān)系，此消彼長。龍世兵團隊通過引入額外的輔助光源實現(xiàn)對向光柵（OPG）調(diào)控方案，來緩解上述制約關(guān)系。

該工作提出了一種光電探測器芯片內(nèi)千萬像素共享一顆輔助LED即可緩解響應度與響應速度之間的制約關(guān)系的策略，對光電探測芯片綜合性能的提升有重要參考意義。

審核編輯 ：李倩