荷蘭出新規(guī)！ASML部分DUV***將禁運，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展別無選擇

電子發(fā)燒友網(wǎng)報道（文/吳子鵬）日前，有外媒報道稱，荷蘭貿(mào)易部部長最近在致荷蘭議會的一封信中宣布，基于國家安全考慮，荷蘭政府將在夏天之前對其芯片出口實施新的限制。這項措施帶來的一個顯著改變就是，ASML***的出口限制從EUV***進一步下探了DUV***，以及先進的沉積設(shè)備。

ASML在當(dāng)?shù)貢r間3月8日的聲明中提到，將需要申請出口許可證才能發(fā)運最先進的浸潤式DUV系統(tǒng)，預(yù)計這些管制措施不會對該公司已發(fā)布的2023年財務(wù)展望以及于去年11月投資者日宣布的長期展望產(chǎn)生重大性影響。

堵死國內(nèi)先進制程之路

從ASML的聲明中可以看出，并非是所有的DUV***設(shè)備都將被禁運，主要是最先進的DUV***設(shè)備。結(jié)合ASML官網(wǎng)的設(shè)備情況來看，限制范圍大致是TWINSCAN NXT：2000i和TWINSCAN NXT：2050i以及后續(xù)推出的更高端的DUV設(shè)備。

那么，現(xiàn)階段能夠購買到的設(shè)備是什么？答案是TWINSCAN NXT：1980Di。介紹信息顯示，這款***采用193nm光源，廣泛用于40nm或者38nm左右的成熟制程。業(yè)內(nèi)人士表示，不能說TWINSCAN NXT：1980Di不能用于28nm、14nm，或者更先進的7nm。但是這樣做的代價是高昂的，光刻步驟更加復(fù)雜，良率會比較低，量產(chǎn)芯片的成本完全不能與基于更先進的DUV***或者EUV***搭建的產(chǎn)線相比。

先進DUV***在先進制程方面的價值是巨大的。此前，臺積電林本堅表示，該公司已經(jīng)利用DUV***量產(chǎn)了7nm，未來還將繼續(xù)通過DUV量產(chǎn)5nm。而且，此前的文章中我們也介紹過英特爾當(dāng)年量產(chǎn)10nm，借助的就是雙機臺和DUV***。

而我們也看到，在美光最新的DRAM技術(shù)中，依然也是在繼續(xù)采用DUV***。2022年11月2日，美光宣布其采用全球最先進技術(shù)節(jié)點的1β DRAM產(chǎn)品已開始向部分智能手機制造商和芯片平臺合作伙伴送樣以進行驗證，并做好了量產(chǎn)準(zhǔn)備。在這項創(chuàng)新的DRAM量產(chǎn)技術(shù)中，美光實現(xiàn)了領(lǐng)先行業(yè)的低延遲、低功耗和高性能。而在實現(xiàn)的過程中，美光通過多重曝光光刻技術(shù)加上DUV***便實現(xiàn)了1βDRAM制程，成功繞開了EUV***。

因此，從計算芯片和DRAM量產(chǎn)來看，先進DUV***的價值是巨大的。

荷蘭之所以在此時將政策進一步收緊，離不開美國政府持續(xù)的游說。在雙方此前的多輪溝通中，荷蘭實際上都在堅持自己的原則。荷蘭外貿(mào)與發(fā)展合作大臣施賴納馬赫爾在2022年11月22日曾表示，荷蘭不會照搬美國對華的芯片管制政策，“重要的是我們要捍衛(wèi)自己的利益——我們的國家安全，以及我們的經(jīng)濟利益。”根據(jù)此前的財報數(shù)據(jù)，中國大陸是市場是ASML第三大的市場，營業(yè)收入達27億歐元，約占其2021年全球營業(yè)額的14.7%。

為了讓荷蘭對大陸禁售高端***，美國已經(jīng)游說了多年。目前來看，荷蘭還是選擇了順從。分析師認(rèn)為，在兩國的談判中，定然涉及到了美國當(dāng)前正在大力推進的芯片本土制造。此前有報道稱，美國芯片法案的目標(biāo)是500億美元的補貼，帶動2000億美元的產(chǎn)業(yè)投資，吸引了臺積電、三星、英特爾、格芯和美光等大廠紛紛投資，將會對***有比較大的需求。因此，ASML此舉無疑是一種市場換市場的行為。

國產(chǎn)設(shè)備唯一途可走

近些年，我國在整個集成電路制造領(lǐng)域，封裝環(huán)節(jié)算是較為成熟的環(huán)節(jié)，在設(shè)備和制造方面長期處于中低端水平，甚至是未破冰的狀態(tài)，僅在個別點上達到了國際領(lǐng)先水平。

自2020年開始，在國際形勢風(fēng)云變幻的影響下，在國產(chǎn)化進程的帶動下，我國在半導(dǎo)體設(shè)備方面取得了長足的進展。根據(jù)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會的統(tǒng)計數(shù)據(jù)，2018年國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備在集成電路以及LED、面板、光伏和分立器件設(shè)備方面的自給率為12%。到了2020年，這一比例提升到了16.8%。2021年時，達到27.4%。公開數(shù)據(jù)顯示，在晶圓代工領(lǐng)域，2022年1-7月份，國內(nèi)規(guī)模化公開招標(biāo)的五家晶圓廠的半導(dǎo)體設(shè)備中，國產(chǎn)化率高達36%。在這個垂直領(lǐng)域內(nèi)，2020年時公開競標(biāo)項目的國產(chǎn)化率為7.4%，兩年不到的時間翻了近5倍。

有外媒引用分析師的預(yù)測數(shù)據(jù)稱，預(yù)計到2025年中國國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備在上述關(guān)鍵領(lǐng)域的自給率將達到50%。

隨著荷蘭在政策層面倒向美國一側(cè)，未來國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的前進腳步將更加堅定，將完全摒棄搖擺思維，全心投入到全產(chǎn)業(yè)鏈自研中。經(jīng)歷過去幾年的發(fā)展，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商已經(jīng)涌現(xiàn)出一些具有代表性的廠商。比如在備受關(guān)注的***領(lǐng)域，已經(jīng)出現(xiàn)上海微電子這家初具規(guī)模的國產(chǎn)***廠商。

上海微電子成立于2001年，前身是成立于1928年的國立中央研究院工程研究所，是我國最早的工學(xué)研究機構(gòu)之一。一開始，上海微電子是在封裝用***領(lǐng)域引起關(guān)注。該公司于2009年開發(fā)SSB500系列步進重復(fù)***，2015年在封裝領(lǐng)域市占率已達40%。在晶圓代工領(lǐng)域，上海微電子SSX600系列步進掃描投影***已經(jīng)能夠滿足280nm、110nm和90nm光刻需求，可用于8吋晶圓和12吋晶圓的規(guī)模量產(chǎn)。

目前，國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)都在密切關(guān)注上海微電子下一代***的交付。根據(jù)此前多方的爆料消息，這款***為一款28nm制程的***。

從產(chǎn)品組成來看，***主要由測量臺與曝光臺（雙工件臺）、激光器、光速矯正器、能量控制器、光速形狀設(shè)置、遮光器、能量探測器、掩膜版、掩膜臺、物鏡、內(nèi)部封閉框架和減震器等11個模塊組成。在上游配套方面，國內(nèi)華卓精科在雙工件臺方面已經(jīng)打破壟斷，成為全球第二家掌握這項技術(shù)的公司；科益虹源也在***所需高能準(zhǔn)分子激光器方面取得突破，已完成6khz、60w主流ArF***光源制造；奧普光學(xué)在光源方面已經(jīng)突破到90nm***，等等。

除了***方面。北方華創(chuàng)在刻蝕、沉積、清洗、檢測等方面已經(jīng)發(fā)展成為平臺型企業(yè)；中微公司用于集成電路、LED芯片等微觀器件領(lǐng)域的等離子體刻蝕設(shè)備、深硅刻蝕設(shè)備和MOCVD設(shè)備已經(jīng)打入到頭部企業(yè)的尖端供應(yīng)鏈；盛美上海的半導(dǎo)體清洗設(shè)備、半導(dǎo)體電鍍設(shè)備和先進封裝濕法設(shè)備等也已經(jīng)用于28nm及以下的工藝平臺。

倪光南院士曾經(jīng)說過，半導(dǎo)體芯片是一個產(chǎn)業(yè)鏈，你要替掉進口的、替掉壟斷的，才能在市場上站得住腳。隨著國際形勢越來越嚴(yán)峻，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商正在突破層層枷鎖，塑造全國產(chǎn)產(chǎn)業(yè)鏈。

寫在最后

當(dāng)EUV***禁運時，我們抱有的幻想是，我們可以買到先進的DUV設(shè)備，靠著雙工臺和多重曝光的技術(shù)也能夠打入到先進制程領(lǐng)域。如今先進的DUV***也禁運了，我們不能說我們還能買尼康和佳能的設(shè)備，還有ASML的TWINSCAN NXT：1980Di可以用。這種時候，我們要摒棄一切幻想，國產(chǎn)替代和國產(chǎn)創(chuàng)新已經(jīng)成為新常態(tài)。當(dāng)國產(chǎn)生態(tài)成為閉環(huán)，***就真的有希望了。