超純水在芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用

什么是芯片?集成電路就是芯片，是信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心元件。從芯片的設(shè)計、制造、封裝材料等相關(guān)企業(yè)層出不窮。但高品質(zhì)的產(chǎn)品才能被市場認(rèn)可，再多的芯片廠家涌起也得禁得住市場的考驗。芯片從制造開始就有考究，無論是原材料還是工藝都是經(jīng)過精挑細(xì)選的。在制造芯片中有一種水也要經(jīng)過專業(yè)的制取工藝而得來，才能更好地應(yīng)用在芯片制造中，這種水便是超純水。

芯片生產(chǎn)所需的清洗用水為電阻率大于18MΩcm，接近于18.3MΩcm的超純水。這種超純水的制備過程比較復(fù)雜，為了達到芯片生產(chǎn)的用水要求，制備超純水的設(shè)備需要經(jīng)過嚴(yán)格的檢測。

據(jù)了解，傳統(tǒng)超純水制備過程中通常采用離子交換樹脂，此工藝需要進行樹脂再生，既耗費物力又耗費人工。目前，為了更好地節(jié)省人工和耗材，人們開始采用RO反滲透技術(shù)和EDI相結(jié)合的工藝，從而來制備超純水。

目前這種超純水設(shè)備與傳統(tǒng)工藝相比，不僅投入的運行成本低且人工成本也是很低的，并且設(shè)備的整體集成化程度高，自動化程度高，遇故障可以實現(xiàn)立即自停，具有自動保護功能。而且該設(shè)備應(yīng)用的膜技術(shù)，具有較高的溶質(zhì)分離率和透過率，可以高效產(chǎn)出高品質(zhì)超純水。

綜上，我們了解到，超純水設(shè)備出水電導(dǎo)率可達18.2mΩ，大大地滿足芯片行業(yè)用水需求，是該行業(yè)清洗用水的重要保障。

目前，常見超純水設(shè)備多是采用反滲透技術(shù)與電去離子(EDI)技術(shù)相結(jié)合的方式來制取超純水，這樣的超純水設(shè)備無論出水還是制作過程都是環(huán)保且符合國家標(biāo)準(zhǔn)的。超純水設(shè)備可以將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度，符合超純水出水標(biāo)準(zhǔn)。

這樣的超純水設(shè)備無需使用任何再生化學(xué)品進行再生，無需中和藥劑，應(yīng)用EDI模塊就不會產(chǎn)生酸堿廢液。設(shè)備選用優(yōu)質(zhì)膜元件，能夠去除水中的導(dǎo)電介質(zhì)，并具有純度高，無病毒和細(xì)菌，不含任何懸浮物、無化學(xué)污染等優(yōu)勢。對于芯片制造來說，該設(shè)備生產(chǎn)的超純水符合產(chǎn)業(yè)需求，同時高品質(zhì)的超純水可以幫助芯片制造業(yè)提高成品率。

綜上，超純水設(shè)備的產(chǎn)業(yè)無論是從技術(shù)、人員還是專業(yè)服務(wù)來說都需要保持嚴(yán)謹(jǐn)?shù)膽B(tài)度，這樣才能保證生產(chǎn)出的超純水值得人信賴。（文章轉(zhuǎn)載與網(wǎng)絡(luò)，如有侵權(quán)請聯(lián)系刪除）

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