濱松紅外相機(jī)及應(yīng)用實(shí)例展示

濱松的紅外相機(jī)是使用InGaAs材料，在900 nm-1700 nm波段有很高的靈敏度的科研級(jí)紅外相機(jī)，目前主要有三個(gè)型號(hào)的相機(jī)可供選擇：超高靈敏度深度制冷的C12741-11， 高靈敏度低噪聲的C12741-03，靈活小巧、可制冷有全局快門(mén)的C14041-10U。

900 nm-1700 nm的紅外波段在光通信、半導(dǎo)體檢測(cè)等諸多領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用，下面就介紹幾個(gè)紅外相機(jī)的典型應(yīng)用。

該應(yīng)用通常來(lái)說(shuō)光強(qiáng)較強(qiáng)，選用C14041-10U即可，如果是較弱的光纖出光，也可選用C12741-03.

用于光波導(dǎo)的相機(jī)需要觀測(cè)相對(duì)來(lái)說(shuō)較弱的光纖發(fā)光等，所以建議選用靈敏度較高的C12741-03。

電致發(fā)光：在暗室環(huán)境下，通過(guò)增加曝光率獲取樣品缺陷發(fā)光現(xiàn)象。

硅片鍵合：對(duì)硅片、鍺片及其摻雜片鍵合過(guò)程中產(chǎn)生的缺陷進(jìn)行檢測(cè)(氣泡、縫隙等)，摻雜的材料根據(jù)情況不同，穿透波長(zhǎng)也不一樣。

紅外穿透：硅片本身不透明，使用反射光僅能看清表面結(jié)構(gòu)。使用紅外光源配合紅外相機(jī)拍攝，利用紅外光對(duì)"不透明"的硅片所具有的穿透性，就可以看清楚芯片內(nèi)部各層的結(jié)構(gòu)。

相機(jī)型號(hào)建議選用靈敏度較高的C12741-03。

輝銻礦，紅外可穿透，可見(jiàn)光不可穿透;石英，可見(jiàn)光和紅外均可穿透;黃鐵礦，紅外可穿透。通常使用紅外相機(jī)配合顯微鏡觀察。建議選用靈敏度較高的C12741-03。

針對(duì)極微弱的紅外光，例如材料發(fā)出的弱熒光，可以使用深度制冷到零下70 ℃的C12741-11。

審核編輯黃宇