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VJ系列3D輪廓測量儀,一鍵輕松獲得2D/3D參數(shù)

中圖儀器 ? 2022-03-31 11:26 ? 次閱讀

隨著我國制造業(yè)不斷邁向精密化、高端化,對檢測手段和檢測能力提出了更高的要求,作為產(chǎn)品輪廓尺寸檢測儀器的3D輪廓測量儀, Z軸的測量精度已達到微米級,以其超高的測量精度,在先進制造領域發(fā)揮著重要作用。

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VJ系列3D輪廓測量儀

中圖儀器VJ系列3D輪廓測量儀,是一款用于半導體、3C電子、醫(yī)療器械、磁性材料、精密機械等領域的無接觸式掃描3D輪廓成像設備,工件無需定位,自動識別,一鍵閃測,輕松獲得2D/3D參數(shù)。其具有能夠抑制樣品表面多重反射、漫反射所帶來影響的線激光測頭,實現(xiàn)超高精度測量。

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上圖展示的是工件的三維形貌,VJ系列3D輪廓測量儀能在幾秒鐘之內超高精度地呈現(xiàn)目標工件的真實形狀,最后呈現(xiàn)不同顏色變化的3D圖像是軟件利用高度測量數(shù)據(jù)形成的高低差來顯示的,軟件可以選擇相應測量面,快速得到最高點和最低點信息。

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電子電路測量

VJ系列3D輪廓測量儀對電子電路樣品表面進行掃描,溝槽輪廓一覽無余,如上圖所示,我們從圖像上提取一條剖面輪廓曲線,可以清楚地看到溝槽的輪廓曲線,此時使用輪廓分析功能對特征區(qū)域進行高度等尺寸數(shù)據(jù)標注。豐富的2D測量工具,可通過截面形狀對高度、寬度、角度以及R角進行各種測量。

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半導體產(chǎn)品測量

除2D尺寸測量外, VJ系列3D輪廓測量儀還能夠自由地對工件(如上圖半導體工件)進行3D幾何運算,例如:平面度、共面度、輪廓度等形位公差。

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CNC批量測量

多工件批量測量時,軟件可以建立模板,CNC模式下,只需按下啟動鍵,儀器即可根據(jù)工件的形狀自動定位測量對象、匹配模板、測量評價、報表生成,真正實現(xiàn)一鍵式快速精準測量。

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檢測報告

“沒有超精密測量,就不會有高質量的高端裝備制造?!盫J系列3D輪廓測量儀,以其快速便捷、高效穩(wěn)定的性能助力先進制造業(yè)發(fā)展!

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