SuperViewW1白光干涉儀以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。
SuperViewW1白光干涉儀輪廓分析操作步驟:
1.將樣品放置在載物臺鏡頭下方;
2.檢查電機(jī)連接和環(huán)境噪聲,確認(rèn)儀器狀態(tài);
3.使用操縱桿調(diào)節(jié)Z軸,找到樣品表面干涉條紋;
4.微調(diào)XY軸,找到待測區(qū)域,并重新找到干涉條紋;
5.完成掃描設(shè)置和命名等操作;
6.點(diǎn)擊開始測量(進(jìn)入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀察一會);
7.臺階樣品分析第一步:校平;
8.進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,點(diǎn)擊“校平”圖標(biāo),和平面樣品不同,臺階樣品需手動選取基準(zhǔn)區(qū)域,選好基準(zhǔn)區(qū)域后,先“全部排除”再“包括”;
9.若樣品表面有好幾處區(qū)域均為平面且高度一致,可多選擇幾個區(qū)域作為基準(zhǔn)面進(jìn)行校平;
10.臺階高度測量:線臺階高度測量
11.進(jìn)入分析工具界面,點(diǎn)擊“臺階高度”圖標(biāo),即可直接獲取自動檢測狀態(tài)下的面臺階高度相關(guān)數(shù)據(jù);
12.在右側(cè)點(diǎn)擊“手動檢測”,根據(jù)需求選擇合適的形狀作為平面1和平面2的測量區(qū)域,數(shù)據(jù)欄可直接讀取兩個區(qū)域的面臺階高度數(shù)值;
13.臺階高度測量:線臺階高度測量
14.進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,點(diǎn)擊“提取剖面”圖標(biāo),使用合適方向的剖面線,提取目標(biāo)位置的剖面輪廓曲線;
15.進(jìn)入分析工具界面,點(diǎn)擊“臺階高度”圖標(biāo),由于所測為中間凹槽到兩側(cè)平面高度,因此點(diǎn)擊右側(cè)工具欄,測量條對數(shù)選擇“2”,將紅色基準(zhǔn)線對放置到凹槽平面中間,兩對測量線對分別放置在兩側(cè)平面,即可在數(shù)據(jù)纜讀取臺階高度數(shù)據(jù)。
粗糙度分析操作步驟:
1.將樣品放置在夾具上,確保樣品狀態(tài)穩(wěn)定;
2.將夾具放置在載物臺上;
3.檢查電機(jī)連接和環(huán)境噪聲,確認(rèn)儀器狀態(tài);
4.使用操縱桿調(diào)節(jié)三軸位置,將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋;
5.完成掃描設(shè)置和命名等操作;
6.點(diǎn)擊開始測量(進(jìn)入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀察一會);
7.進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,點(diǎn)擊“去除外形”,采用默認(rèn)參數(shù),點(diǎn)擊應(yīng)用獲取樣品表面粗糙度輪廓;
8.進(jìn)入分析工具模塊,點(diǎn)擊參數(shù)分析,直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù),點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)可更換參數(shù)標(biāo)準(zhǔn),增刪參數(shù)類型;
9.如果想獲取線粗糙度數(shù)據(jù),則需提取剖面線;
10.進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,點(diǎn)擊“提取剖面”圖標(biāo),選擇合適方向剖面線進(jìn)行剖面輪廓提??;
11.進(jìn)入分析工具界面,點(diǎn)擊“參數(shù)分析”圖標(biāo),點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn),勾選所需線粗糙度相關(guān)參數(shù),即可獲取線粗糙度Ra數(shù)據(jù)。
日常維護(hù):
1、SuperViewW1白光干涉儀應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi),防止振動,儀器搬動時,應(yīng)托住底座,以防導(dǎo)軌變形。
2、光學(xué)零件不用時,應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi),以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭,必要擦拭時,須先用備件毛刷小心撣去灰塵,再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和y醚混合液輕拭。
3、傳動部件應(yīng)有良好的潤滑。特別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分,應(yīng)用T5精密儀表油潤滑。
4、使用時,各調(diào)整部位用力要適當(dāng),不要強(qiáng)旋、硬扳。
5、導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)防止劃傷、銹蝕,用畢后,仍保持不失油狀態(tài)。
6、經(jīng)過精密調(diào)整的儀器部件上的螺絲,都涂有紅漆,不要擅自轉(zhuǎn)動。
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測量
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