白光干涉儀的測量操作方法

SuperViewW1白光干涉儀以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。

輪廓分析操作步驟：

1.將樣品放置在載物臺鏡頭下方；

2.檢查電機(jī)連接和環(huán)境噪聲，確認(rèn)儀器狀態(tài)；

3.使用操縱桿調(diào)節(jié)Z軸，找到樣品表面干涉條紋；

4.微調(diào)XY軸，找到待測區(qū)域，并重新找到干涉條紋；

5.完成掃描設(shè)置和命名等操作；

6.點(diǎn)擊開始測量（進(jìn)入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀察一會）；

7.臺階樣品分析第一步：校平；

8.進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面，點(diǎn)擊“校平”圖標(biāo)，和平面樣品不同，臺階樣品需手動選取基準(zhǔn)區(qū)域，選好基準(zhǔn)區(qū)域后，先“全部排除”再“包括”；

9.若樣品表面有好幾處區(qū)域均為平面且高度一致，可多選擇幾個區(qū)域作為基準(zhǔn)面進(jìn)行校平；

10.臺階高度測量：線臺階高度測量

11.進(jìn)入分析工具界面，點(diǎn)擊“臺階高度”圖標(biāo)，即可直接獲取自動檢測狀態(tài)下的面臺階高度相關(guān)數(shù)據(jù)；

12.在右側(cè)點(diǎn)擊“手動檢測”，根據(jù)需求選擇合適的形狀作為平面1和平面2的測量區(qū)域，數(shù)據(jù)欄可直接讀取兩個區(qū)域的面臺階高度數(shù)值；

13.臺階高度測量：線臺階高度測量

14.進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面，點(diǎn)擊“提取剖面”圖標(biāo)，使用合適方向的剖面線，提取目標(biāo)位置的剖面輪廓曲線；

15.進(jìn)入分析工具界面，點(diǎn)擊“臺階高度”圖標(biāo)，由于所測為中間凹槽到兩側(cè)平面高度，因此點(diǎn)擊右側(cè)工具欄，測量條對數(shù)選擇“2”，將紅色基準(zhǔn)線對放置到凹槽平面中間，兩對測量線對分別放置在兩側(cè)平面，即可在數(shù)據(jù)纜讀取臺階高度數(shù)據(jù)。

粗糙度分析操作步驟：

1.將樣品放置在夾具上，確保樣品狀態(tài)穩(wěn)定；

2.將夾具放置在載物臺上；

3.檢查電機(jī)連接和環(huán)境噪聲，確認(rèn)儀器狀態(tài)；

4.使用操縱桿調(diào)節(jié)三軸位置，將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋；

5.完成掃描設(shè)置和命名等操作；

6.點(diǎn)擊開始測量（進(jìn)入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀察一會）；

7.進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面，點(diǎn)擊“去除外形”，采用默認(rèn)參數(shù)，點(diǎn)擊應(yīng)用獲取樣品表面粗糙度輪廓；

8.進(jìn)入分析工具模塊，點(diǎn)擊參數(shù)分析，直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù)，點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)可更換參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)，增刪參數(shù)類型；

9.如果想獲取線粗糙度數(shù)據(jù)，則需提取剖面線；

10.進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面，點(diǎn)擊“提取剖面”圖標(biāo)，選擇合適方向剖面線進(jìn)行剖面輪廓提??；

11.進(jìn)入分析工具界面，點(diǎn)擊“參數(shù)分析”圖標(biāo)，點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)，勾選所需線粗糙度相關(guān)參數(shù)，即可獲取線粗糙度Ra數(shù)據(jù)。

日常維護(hù)：

1、SuperViewW1白光干涉儀應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi)，防止振動，儀器搬動時，應(yīng)托住底座，以防導(dǎo)軌變形。

2、光學(xué)零件不用時，應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi)，以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和y醚混合液輕拭。

3、傳動部件應(yīng)有良好的潤滑。特別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應(yīng)用T5精密儀表油潤滑。

4、使用時，各調(diào)整部位用力要適當(dāng)，不要強(qiáng)旋、硬扳。

5、導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態(tài)。

6、經(jīng)過精密調(diào)整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉(zhuǎn)動。