MEMS即微機電系統(tǒng)(Microelectro Mechanical Systems),是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展,已成為世界矚目的重大科技領域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫(yī)學等多種學科與技術,具有廣闊的應用前景。
聯(lián)合儀器MEMS測試系統(tǒng)UI320采用測試機加轉臺的構架,是對MEMS陀螺儀和加速度計的測試平臺。可對MEMS傳感器芯片進行測試,支持I2C/SPI的通訊方式,提供免費的開源軟件底層API基于C開發(fā),支持VC,VC++,labview等。
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