3d光學輪廓儀基本原理和測試步驟

W系列3d光學輪廓儀是以白光干涉技術為原理（用于光在兩個不同表面反射后形成的干涉條紋進行分析的設備），能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。其基本原理就是通過不同光學元件形成參考光路和檢測光路。用于表面形貌紋理，微觀結構分析，用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等等領域。

測量原理

利用光學干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分威兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。

3d光學輪廓儀具體測量步驟以測量單刻線臺階為例：

在檢查儀器的各線路接頭都準確插到對應插孔后，開啟儀器電源開關，啟動計算機，將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置，先手動調整載物臺大概位置，對準白光干涉儀目鏡的下方。

在計算機上打開測量軟件，在軟件界面上設置好目鏡下行的最低點，再微調鏡頭與被測單刻線臺階表面的距離，調整到計算機屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳，此時設置好要掃描的距離。按開始按鈕，儀器儀可自動進行掃描測量，測量完成后，轉件自動生成3D圖像，測量人員可以對3D圖像進行數(shù)據(jù)分析，獲得被測器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、0D參數(shù)。

W系列3d光學輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能全面、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。其特殊的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。