德累斯頓工廠的電子束光刻系統(tǒng)

來源：半導(dǎo)體芯科技編譯

投資半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)新的生產(chǎn)設(shè)備

Jenoptik公司計(jì)劃投資數(shù)億歐元，為目前在德累斯頓建設(shè)的高科技工廠建造最先進(jìn)的系統(tǒng)。新型電子束光刻系統(tǒng)（E-Beam）將用于為半導(dǎo)體和光通信領(lǐng)域的客戶制造高精度微型光學(xué)元件。制造商是位于德國耶拿的電子束技術(shù)專家Vistec Electron Beam GmbH。該系統(tǒng)將于2025年初交付。

以最高精度創(chuàng)建最小的結(jié)構(gòu)

這種類型的電子束光刻系統(tǒng)可以在直徑達(dá)300毫米的襯底上以10納米范圍（約為頭發(fā)絲的1/2,000）精度“寫入”結(jié)構(gòu)。

Vistec SB3050-2電子束光刻系統(tǒng)基于所謂的可變形狀光束原理，即使是大面積的結(jié)構(gòu)也可以高精度且有效地構(gòu)建。Vistec SB3050-2的進(jìn)一步特點(diǎn)是高度自動(dòng)化以及可用襯底的靈活性，使其能夠在工業(yè)環(huán)境中使用。該系統(tǒng)配備了單元投影功能，為微光學(xué)應(yīng)用開辟了更多可能性。

Jenoptik自2007年以來一直活躍在德累斯頓。通過在德累斯頓機(jī)場公園新建高科技工廠，該公司正在鞏固其目前分布在幾個(gè)小型外部基地的生產(chǎn)，同時(shí)擴(kuò)大其產(chǎn)能。新工廠的潔凈室生產(chǎn)面積將達(dá)到2,000平方米，潔凈室面積達(dá)到ISO 5和3級，滿足無振動(dòng)和溫度穩(wěn)定性的最高要求。

整個(gè)工廠都考慮到了高環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)：Jenoptik正在努力通過“KfW 40標(biāo)準(zhǔn)”和“LEED黃金標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證”來滿足目前在可持續(xù)性方面最全面、最嚴(yán)格的建筑標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí)，將創(chuàng)造高質(zhì)量的就業(yè)機(jī)會，現(xiàn)場員工人數(shù)將增加至120多人。薩克森州首府將因此成為微光學(xué)行業(yè)的主要所在地。

審核編輯 黃宇