如果說,“ 沒有IC制造就沒有中國的IC產(chǎn)業(yè)”是成立的,那么“沒有IC裝備就沒有中國的IC制造業(yè)”,也是順理成章的。只可惜,目前的中國IC裝備業(yè)與國際水平整體差距可不是一點(diǎn)點(diǎn)。不過,以北方華創(chuàng)為代表的國內(nèi)設(shè)備商的持續(xù)努力,也讓國人對“高端裝備中國造”的信心與日俱增。整合優(yōu)勢資源,盡快加大體量。今年2月,“七星華創(chuàng)”與“北方微電子”正式合二為一,整合為“北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司”,將“高端裝備中國制造”的使命“據(jù)為己有”,已建立起國內(nèi)覆蓋領(lǐng)域最廣、產(chǎn)品種類最多、建設(shè)規(guī)模最大、綜合實(shí)力最強(qiáng)的高端裝備供應(yīng)平臺。北方華創(chuàng)總經(jīng)理趙晉榮說,“七星”與“北方微”的整合不僅沒有流失客戶,反而讓客戶增添了對北方華創(chuàng)的信心和信任。客戶的訂單,就是對北方華創(chuàng)最大的肯定。在國家極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝重大專項(xiàng)中,北方華創(chuàng)以絕對主力,相繼完成了ETCH、PVD等工藝的驗(yàn)證和產(chǎn)業(yè)化,清洗機(jī)、氧化爐、LPCVD( 低氣壓化學(xué)氣相沉積)、ALD(原子層沉積)和氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)等多個(gè)項(xiàng)目,在獲得政府科研項(xiàng)目資助同時(shí),關(guān)鍵是多種高端集成電路的關(guān)鍵設(shè)備均批量進(jìn)入了大生產(chǎn)線,并取得了良好的使用效果。趙晉榮介紹,目前,在IC制造領(lǐng)域北方華創(chuàng)擁有刻蝕機(jī)、PVD、單片退火設(shè)備、氧化爐、退火(合金)爐、LPCVD以及清洗機(jī)7類產(chǎn)品,已經(jīng)全面在國內(nèi)主流生產(chǎn)線上穩(wěn)定量產(chǎn)。不過趙晉榮強(qiáng)調(diào),我們在集成電路衍生市場取得的進(jìn)步更為明顯,如MEMS、功率半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體、先進(jìn)封裝、LED照明、平板顯示、光伏等市場領(lǐng)域的從無到有、從弱至強(qiáng)。在先進(jìn)封裝領(lǐng)域,北方華創(chuàng)刻蝕機(jī)和PVD設(shè)備在主要的先進(jìn)封裝廠已得到全面應(yīng)用,在全球排名前三的WLCSP封裝企業(yè)中,北方華創(chuàng)刻蝕機(jī)和PVD均是主力機(jī)臺;在LED領(lǐng)域,北方華創(chuàng)刻蝕機(jī)、PVD和PECVD三類設(shè)備的市場占有率實(shí)現(xiàn)了多項(xiàng)全球第一獨(dú)占鰲頭;MEMS芯片制造用的深硅刻蝕設(shè)備以及金屬刻蝕設(shè)備,已批量銷往多家科研機(jī)構(gòu)及生產(chǎn)線;在光伏領(lǐng)域,北方華創(chuàng)研發(fā)的國內(nèi)首臺應(yīng)用于高效光伏電池生產(chǎn)的負(fù)壓擴(kuò)散爐,已經(jīng)得到市場認(rèn)可,光伏交鑰匙工程還獲得海外客戶訂單;北方華創(chuàng)作為國內(nèi)首家進(jìn)入TFT-LCD生產(chǎn)線的設(shè)備商,自主研發(fā)的Grind Cleaner、Indexer等設(shè)備均在主流客戶端占據(jù)重要份額,所提供的設(shè)備在客戶端的5、6、8.5、10.5代線上均穩(wěn)定規(guī)模生產(chǎn)。重點(diǎn)發(fā)展刻蝕設(shè)備、PVD、CVD、清洗和擴(kuò)散設(shè)備,在應(yīng)用于集成電路制造的同時(shí),著力在先進(jìn)封裝、LED、MEMS、光伏等市場領(lǐng)域取得“農(nóng)村包圍城市”的突破,這種與國際業(yè)者反向而行的發(fā)展策略,應(yīng)該也是北方華創(chuàng)被迫的“明智選擇”,這也是中國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)取得里程碑式跨越發(fā)展的必由之路。趙晉榮認(rèn)為,就目前現(xiàn)狀而言, 我們在IC主流市場還只是個(gè)技術(shù)跟蹤者,幾乎不可能成為一個(gè)市場引領(lǐng)者,但在半導(dǎo)體周邊市場,還是有國內(nèi)集成電路高端工藝裝備龍頭企業(yè)話語權(quán)的,進(jìn)而占據(jù)市場主導(dǎo)地位,如今已經(jīng)成為現(xiàn)實(shí)。在泛半導(dǎo)體領(lǐng)域的快速推廣應(yīng)用,使北方華創(chuàng)有了更強(qiáng)的市場競爭力、更完善的客戶服務(wù)體系和持續(xù)自主研發(fā)的實(shí)力。在集成電路領(lǐng)域從易到難的產(chǎn)品切入,也走了“農(nóng)村包圍城市”的路子,從8英寸到12英寸,從Hardmask到Al pad再到CuBS研發(fā),從zero mark到STI再到poly刻蝕,從65nm到28nm再到14nm。目前,應(yīng)用于14nm先進(jìn)制程的多項(xiàng)核心設(shè)備已正式進(jìn)入國際主流芯片廠工藝研發(fā)線。可以說,北方華創(chuàng)已挑起重?fù)?dān)兌現(xiàn)“推進(jìn)綱要”中所列的硬性指標(biāo)。趙晉榮表示,在集成電路高端工藝裝備市場,“近水樓臺先得月”是北方華創(chuàng)獨(dú)特的優(yōu)勢。北方華創(chuàng)的近鄰——中國最大芯片代工廠中芯國際、中國最大的面板制造商京東方產(chǎn)線上諸多設(shè)備早期并不來自北方華創(chuàng),但通過不斷提供能夠精準(zhǔn)符合客戶需求的卓越產(chǎn)品與優(yōu)質(zhì)服務(wù),建立起產(chǎn)業(yè)鏈的上下游合作關(guān)系,就是北方華創(chuàng)發(fā)揮地域優(yōu)勢取得突破的所在?,F(xiàn)在再去參觀中芯國際12寸廠和京東方8.5代線的時(shí)候,可以看到成片的區(qū)域里,都充滿了NAURA的標(biāo)識。在左鄰京東方8.5代線中,Grind Cleaner和Indexer設(shè)備正在24小時(shí)無間斷運(yùn)轉(zhuǎn);在右舍中芯國際12寸廠,北方華創(chuàng)數(shù)十臺硅刻蝕設(shè)備、PVD、LPCVD、清洗機(jī)和氧化爐在生產(chǎn)線上量產(chǎn)。最近,北方華創(chuàng)收購Akrion相關(guān)資產(chǎn),以達(dá)到與公司目前清洗設(shè)備品種實(shí)現(xiàn)較好互補(bǔ)之目的。北方華創(chuàng)很看重Akrion在精密清洗技術(shù)方面擁有多年技術(shù)積累和客戶基礎(chǔ),因此,有了一定實(shí)力的北方華創(chuàng),在國際市場出手也就不足為奇了。相信,今后發(fā)生在國內(nèi)設(shè)備廠家身上的類似新聞,會越來越多。趙晉榮認(rèn)為,國產(chǎn)高端裝備要實(shí)現(xiàn)“量變” 較為容易,三年內(nèi)在集成電路行業(yè)的份額就會顯著提升,但是要真正的取代國外廠家,實(shí)現(xiàn)躋身全球前十大的“質(zhì)變”卻并不容易,但只要我們堅(jiān)持把“農(nóng)村包圍城市”戰(zhàn)略的路子走下去,用上五年時(shí)間國內(nèi)設(shè)備商就會有實(shí)現(xiàn)“質(zhì)變”的實(shí)力。在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的這種國際競爭格局下,國內(nèi)的半導(dǎo)體企業(yè)需要加大體量來應(yīng)對全球的競爭。在國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)向中國轉(zhuǎn)移的趨勢下,北方華創(chuàng)作為國內(nèi)半導(dǎo)體裝備最大的制造企業(yè),在未來一定會迎來更好的發(fā)展,帶給中國集成電路裝備產(chǎn)業(yè)無限可能。
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北方華創(chuàng)微電子
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原文標(biāo)題:北方華創(chuàng):誓為中國半導(dǎo)體裝備業(yè)中流砥柱
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