ASML計(jì)劃在2018年生產(chǎn)20臺(tái)EUV光刻機(jī)

據(jù)業(yè)內(nèi)最新消息，全球最大的芯片機(jī)器制造商、荷蘭的AMSL證實(shí)，中國(guó)向荷蘭訂購(gòu)一臺(tái)最新型的使用EUV（極紫外線(xiàn)）技術(shù)的芯片制造機(jī)器光刻機(jī)，訂貨單位是中芯國(guó)際（SMIC）。這也幾乎花掉了中芯國(guó)際2017年的所有利潤(rùn)，該公司去年的凈利潤(rùn)為1.264億美元。

不過(guò)在大家了解到 EUV 設(shè)備有多重要之后，就知道這筆錢(qián)花的有多值了。

EUV 作為現(xiàn)在最先進(jìn)的光刻機(jī)，是唯一能夠生產(chǎn) 7nm 以下制程的設(shè)備，因?yàn)樗l(fā)射的光線(xiàn)波長(zhǎng)僅為現(xiàn)有設(shè)備的十五分之一，能夠蝕刻更加精細(xì)的半導(dǎo)體電路，所以 EUV 也被成為“突破摩爾定律的救星”。從2019年半導(dǎo)體芯片進(jìn)入 7nm 時(shí)代開(kāi)始（現(xiàn)在我們處于 10nm 時(shí)代），EUV 光刻機(jī)是絕對(duì)的戰(zhàn)略性設(shè)備，沒(méi)有它就會(huì)寸步難行。

日經(jīng)亞洲表示，臺(tái)積電、英特爾和三星等半導(dǎo)體巨頭都已經(jīng)向 ASML 采購(gòu)了 EUV 光刻設(shè)備，臺(tái)積電預(yù)定了10套，三星6套，英特爾3套。更可怕的是，ASML 是世界上唯一一個(gè)能夠制造 EUV 光刻機(jī)的廠(chǎng)商，并且產(chǎn)量極低，所有產(chǎn)能早在生產(chǎn)之前就已經(jīng)被預(yù)訂一空。據(jù)介紹，ASML 計(jì)劃在2018年生產(chǎn)20臺(tái) EUV 光刻機(jī)，中芯國(guó)際的這一臺(tái)將會(huì)在2019年交付。

對(duì)于中芯國(guó)際斥巨資預(yù)定 EUV 設(shè)備，日經(jīng)亞洲表示雖然中芯國(guó)際的技術(shù)落后三星、臺(tái)積電兩到三代，現(xiàn)在還在 28nm 和 14nm ，但是擁有 EUV 光刻機(jī)之后，對(duì)于中國(guó)自主研發(fā)半導(dǎo)體技術(shù)是有著重大意義的。

不過(guò)也有很多人對(duì)這一消息提出了質(zhì)疑，因?yàn)楦鶕?jù)瓦森納協(xié)議，ASML 等廠(chǎng)商是不被允許向中國(guó)銷(xiāo)售頂級(jí)光刻機(jī)的。不過(guò) ASML 的一位發(fā)言人表示，他們并沒(méi)有違反瓦森納協(xié)議，所有客戶(hù)都是完全平等的，只要客戶(hù)下單，EUV要進(jìn)口到中國(guó)完全沒(méi)有任何問(wèn)題。